[实用新型]一种用于观察超薄玻璃截面的扫描电镜样品台有效

申请号：	201920346112.0	申请日：	2019-03-19
公开（公告）号：	CN209859910U	公开（公告）日：	2019-12-27
发明（设计）人：	檀晨辉;张维炜;陈招娣;林威廷;洪立昕	申请（专利权）人：	科立视材料科技有限公司
主分类号：	H01J37/20	分类号：	H01J37/20;H01J37/28
代理公司：	35100 福州元创专利商标代理有限公司	代理人：	蔡学俊;薛金才
地址：	350015 福建省***	国省代码：	福建;35
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摘要：
搜索关键词：	极板夹持支臂样品台本实用新型扫描电镜样品台玻璃样品超薄玻璃铰接设置实验观察锁紧件弹簧拉紧压紧压靠移动观察
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【说明书】：

本实用新型涉及一种用于观察超薄玻璃截面的扫描电镜样品台，包括样品台，在样品台上设置有可相对样品台上下移动的极板，在极板与样品台之间设置有用以将极板固定在样品台上的锁紧件，在样品台上铰接设置有用以将样品压靠在极板和样品台上的夹持支臂，在夹持支臂与样品台之间设置有用以固定拉紧夹持支臂的弹簧。本实用新型结构新颖、操作简便，能将玻璃样品压紧在样品台上，便于实验观察。

技术领域

本实用新型涉及一种用于观察超薄玻璃截面的扫描电镜样品台。

背景技术

超薄玻璃由于成型工序复杂，从配合料制备、熔化、玻璃液澄清、均化、冷却等各生产过程中，难免产生各种不同类型的玻璃表面和内部缺陷，通常情况下是微米级尺寸的缺陷。为了分析这些缺陷的产生原因，一个比较重要的测试手段就是用扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）进行缺陷的微区形貌和成分分析。但SEM和EDS仅可实现样品表面分析，因此想要对玻璃内部的缺陷进行分析就需要采用截面分析方法。

由于超薄玻璃厚度仅有0.3-1.0mm左右，所以如何将玻璃样品稳定固定于SEM腔室中，观察裸露于截面表面的缺陷就显得很重要。现有的方式是将玻璃直立的镶埋在环氧树脂中，然后进行研磨、抛光、喷碳或镀金等处理后，使用碳导电胶将含玻璃样品在内的整个环氧树脂黏贴在SEM自带的样品台上，进行后续的检测。此种方法检测样品制备过程较繁琐，工作效率慢。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供了一种结构新颖、操作简便的用于观察超薄玻璃截面的扫描电镜样品台，能将玻璃样品压紧在样品台上，便于实验观察。

本实用新型的技术方案是：一种用于观察超薄玻璃截面的扫描电镜样品台，包括样品台，在样品台上设置有可相对样品台上下移动的极板，在极板与样品台之间设置有用以将极板固定在样品台上的锁紧件，在样品台上铰接设置有用以将样品压靠在极板和样品台上的夹持支臂，在夹持支臂与样品台之间设置有用以固定拉紧夹持支臂的弹簧。

进一步的，在样品台下端设置有底座。

进一步的，在极板上设置有燕尾槽。

进一步的，在样品台上设置有与燕尾槽配合的燕尾头。

进一步的，锁紧件为自锁螺栓。

进一步的，在样品台上设置有与螺栓配合的螺孔。

进一步的，在极板上设置有用以让螺栓穿过的长条形通槽。

进一步的，在夹持支臂与样品台之间设置有铰链。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构新颖、操作简便，能将玻璃样品压紧在样品台上，同时能适应不同规格的玻璃样品，便于实验观察。

为使得本实用新型的上述目的、特征和优点能够更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。