[实用新型]一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置

权利要求书

1.一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，包括物镜组件(1)和设置在样品(11)上方的探头装置(2)，所述物镜组件(1)位于探头装置(2)上方；所述探头装置包括激光器(3)、微悬臂探针(4)和激光接收器(5)；所述激光器(3)发射的激光直接到达微悬臂探针(4)并经过微悬臂探针(4)的悬臂梁背面反射后被激光接收器(5)接收。

2.根据权利要求1所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述激光器(3)采用光纤耦合输出半导体激光器(6)，所述光纤耦合输出半导体激光器(6)包含聚光透镜(7)。

3.根据权利要求2所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述激光接收器(5)采用四象限光斑接收器(8)。

4.根据权利要求3所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述聚光透镜(7)为汇聚微透镜。

5.根据权利要求3所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，还包括光斑信号前置放大器(9)，所述光斑信号前置放大器(9)的输入端与四象限光斑接收器(8)的输出端相连。

6.根据权利要求1所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述探头装置(2)还包括内部中空的壳体(10)，所述激光器(3)、微悬臂探针(4)和激光接收器(5)设置于所述壳体(10)的内部，所述壳体(10)位于物镜组件(1)下方处设有第一开口，所述壳体(10)位于样品上方处设有与第一开口对应的第二开口，所述微悬臂探针(4)穿过第二开口。

7.根据权利要求1-6任一项所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，还包括探头底座装置(12)，所述探头底座装置(12)包括探头底座(13)、三维压电扫描器(14)、运动滑块(15)、螺杆(16)和步进电机(17)。

8.根据权利要求7所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述三维压电扫描器(14)安装于运动滑块(15)上，所述三维压电扫描器(14)设置在样品(11)的下方，所述步进电机(17)驱动螺杆(16)转动，带动运动滑块(15)上下移动，从而使得三维压电扫描器上下移动。

9.根据权利要求6所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述壳体(10)的高度为12mm以内。