[实用新型]一种光纤光栅刻录装置

权利要求书

1.一种光纤光栅刻录装置，包括光敏光纤、相位掩膜板以及紫外光源，所述紫外光源产生的紫外光通过所述相位掩膜板形成衍射条纹，曝光所述光敏光纤，其特征在于：

还包括PC机、控制模块、三维步进电机移动模块、光纤夹持器、光栅尺位移检测模块以及摄像模块；

所述PC机向控制模块发送指令，所述控制模块根据所述指令驱动三维步进电机移动模块带动所述光纤夹持器发生移动；所述三维步进电机移动模块包括X轴驱动器、X轴电机、Y轴驱动器、Y轴电机、Z轴驱动器和Z轴电机，所述X轴驱动器驱动X轴电机带动光纤夹持器在X轴移动，所述Y轴驱动器驱动Y轴电机带动光纤夹持器在Y轴移动，所述Z轴驱动器驱动Z轴电机带动光纤夹持器在Z轴移动；所述光敏光纤由光纤夹持器夹持，所述光敏光纤随着光纤夹持器的移动而移动；所述光栅尺位移检测模块检测所述光敏光纤与所述相位掩膜板的相对位移，并将检测结果输入至控制模块；所述摄像模块实时拍摄所述光敏光纤与所述相位掩膜板的位置，并将拍摄结果输入至PC机。

2.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：所述紫外光源为氩离子激光器或准分子激光器。

3.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

还包括光阑电机模块和光阑；所述光阑设置在所述紫外光源与所述相位掩膜板之间，所述光阑电机模块接收所述控制模块的指令，打开所述光阑的开关，使得紫外光通过光阑照射在所述相位掩膜板上，或关闭所述光阑的开关，使得紫外光无法通过光阑照射在所述相位掩膜板上。

4.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

所述光栅尺位移检测模块由光栅尺和激光位移传感器组成；所述光栅尺由光栅定尺和光栅动尺组成；所述光栅定尺设置在所述光纤夹持器和所述相位掩膜板之间；所述光栅动尺沿着所述光栅定尺的长度方向移动；所述激光位移传感器安装在所述光栅动尺上，所述激光位移传感器的输出端与控制模块连接。

5.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

所述摄像模块为CCD工业摄像机；所述CCD工业摄像机设置在所述光敏光纤和相位掩膜板的正上方，实时拍摄所述光敏光纤的移动以及光敏光纤与所述相位掩膜板的距离，并将拍摄结果输入至PC机。

6.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

还包括ASE宽带光源、光环形器以及光谱分析仪；所述ASE宽带光源产生的ASE宽带光经过光环行器1端口输出到2端口，进入光敏光纤，光敏光纤通过3端口再将ASE宽带光反射到光谱分析仪。

7.根据权利要求1所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

所述光纤夹持器含有两个夹持端子，所述两个夹持端子分别为第一夹持端子(2)和第二夹持端子(4)，所述光敏光纤由第一夹持端子(2)和第二夹持端子(4)固定。

8.根据权利要求7所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

所述三维步进电机移动模块还包括X’轴驱动器、X’轴电机、Y’轴驱动器、Y’轴电机、Z’轴驱动器和Z’轴电机，所述X’轴驱动器驱动X’轴电机带动第二夹持端子(4)在X轴移动，所述Y’轴驱动器驱动Y’轴电机带动第二夹持端子(4)在Y轴移动，所述Z’轴驱动器驱动Z’轴电机带动第二夹持端子(4)在Z轴移动；

所述X轴驱动器驱动X轴电机带动第一夹持端子(2)在X轴移动，所述Y轴驱动器驱动Y轴电机带动第一夹持端子(2)在Y轴移动，所述Z轴驱动器驱动Z轴电机带动第一夹持端子(2)在Z轴移动。

9.根据权利要求8所述的一种光纤光栅刻录装置，其特征在于：

还包括第一水平仪(1)和第二水平仪(3)；所述第一水平仪(1)安装在所述第一夹持端子(2)上，所述第一水平仪(1)的输出端与控制模块连接；所述第二水平仪(3)安装在所述第二夹持端子(4)上，所述第二水平仪(3)的输出端与控制模块连接。