[实用新型]基质辅助激光解析离子源靶板运动平台有效

专利信息
申请号: 201920361289.8 申请日: 2019-03-21
公开(公告)号: CN209374400U 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 张彤;蔡克亚;宋家玉;李康康;郭光辉;易玲 申请(专利权)人: 安图实验仪器(郑州)有限公司
主分类号: H01J49/40 分类号: H01J49/40;H01J49/14
代理公司: 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 代理人: 葛鹏飞
地址: 450016 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 轴承组 靶板 丝杠 轴承座 基质辅助激光解析 本实用新型 电机 运动平台 支撑轴承 工作轴 离子源 联轴器 码盘 电机转数 降低噪音 丝杠外端 贴合设置 同步转动 真空环境 读数头 丝杠母 轴承套 穿出 传动 隔圈 固套 内圈 锁母 轴承 匹配 调试 体内 驱动 移动 记录
【权利要求书】:

1.一种基质辅助激光解析离子源靶板运动平台,包括驱动靶板运动的X向驱动机构和Y向驱动机构,其特征在于:所述X向驱动机构和Y向驱动机构结构相同,均包括电机(1)以及设置在所述电机(1)工作端的轴承座(2),在电机(1)的工作轴(3)上固套有码盘(4),在所述轴承座(2)上设置有与所述码盘(4)相匹配的读数头(5);所述工作轴(3)通过联轴器(6)连接有同步转动的丝杠(7),所述丝杠(7)自设置在所述轴承座(2)内的一对轴承组(8)内圈中穿出,丝杠(7)外端套装有带轴承套(9)的支撑轴承(10);所述轴承组(8)的两轴承之间贴合设置有隔圈(11),在轴承组(8)与联轴器(6)之间的丝杠(7)上设置有锁母(12),在轴承组(8)与支撑轴承(10)之间的丝杠(7)上设置有丝杠母座(13)。

2.根据权利要求1所述的基质辅助激光解析离子源靶板运动平台,其特征在于:与所述锁母(12)相对的轴承组(8)外侧设置有扣合于所述轴承座(2)上的轴承挡盖(14),位于所述支撑轴承(10)外侧的轴承套(9)上设置有卡挡支撑轴承(10)的挡圈(15)。

3.根据权利要求1或2所述的基质辅助激光解析离子源靶板运动平台,其特征在于:在所述Y向驱动机构上设置有支固所述轴承座(2)的支撑座(16),以及支固所述轴承套(9)的轴承套支座(17),所述支撑座(16)设置于所述丝杠(7)与所述工作轴(3)连接处。

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