[实用新型]一种共用驱动轴的多级真空泵有效
申请号: | 201920363030.7 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN209818301U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 潇然 | 申请(专利权)人: | 上海伊莱茨真空技术有限公司;潇然;苏州伊莱茨流体装备有限公司 |
主分类号: | F04C23/02 | 分类号: | F04C23/02;F04C25/02;F04C29/00 |
代理公司: | 11301 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 201799 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空驱动 共用驱动轴 热胀冷缩 轴向相邻 驱动轴 驱动 叶轮 本实用新型 多级真空泵 并联连接 单一电机 驱动电机 真空腔室 转子 第一级 多级泵 非共轴 分段式 罗茨泵 真空泵 真空腔 共轴 腔内 腔室 串联 传递 共享 | ||
1.一种共用驱动轴的多级真空泵,包括多个独立的真空驱动腔,所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔,每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子,其特征在于,第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置;
其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动,其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。
2.如权利要求1所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,以该共用驱动轴驱动的至少两个真空驱动腔,分别为一第一真空驱动腔及一第二真空驱动腔,该共用驱动轴包括一第一分离驱动轴和一第二分离驱动轴,该第一分离驱动轴位于第一真空驱动腔内,该第二分离驱动轴位于第二真空驱动腔内,其中该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴以第一连接件连接,且该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴间隔一段距离。
3.如权利要求2所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该共用驱动轴还包括一第三分离驱动轴,该第一分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的一侧,且该第三分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的另一侧,该第二分离驱动轴与该第三分离驱动轴以第二连接件连接。
4.如权利要求3所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该第三分离驱动轴连接一驱动电机的电机轴。
5.如权利要求2所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该第一真空驱动腔内还包括一第一被动轴,该第一被动轴连接一第一齿轮;其中该第一分离驱动轴连接一第二齿轮;该第一齿轮啮合该第二齿轮。
6.如权利要求2所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该第二真空驱动腔内还包括一第二被动轴,该第二被动轴连接一第三齿轮;其中该第二分离驱动轴连接一第四齿轮;该第三齿轮啮合该第四齿轮。
7.如权利要求1所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,多个该真空驱动腔组成的该真空泵为共轴的多级泵。
8.如权利要求7所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该真空泵为多级罗茨泵或螺杆式真空泵或多级爪式真空泵。
9.如权利要求1所述的共用驱动轴的多级真空泵,其特征在于,该真空泵为至少有一个共轴的非共轴多级真空泵。
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