[实用新型]一种基于mems技术的电场传感器

权利要求书

1.一种基于mems技术的电场传感器，包括传感器主体，所述传感器主体的上方设有接线口，其特征在于：所述传感器主体的两侧设有第一连接块和第二连接块，所述第一连接块与所述第二连接块连接，所述第一连接块与所述第二连接块的内侧均设有连接槽，所述连接槽设有缓冲机构，所述缓冲机构的底部设有第一辅助垫板和第二辅助垫板，所述第一辅助垫板与所述第二辅助垫板连接，所述第一连接块与所述第二连接块的上方设有固定装置。

2.根据权利要求1所述的一种基于mems技术的电场传感器，其特征在于：所述第一辅助垫板设有第一安装块，所述第二辅助垫板设有第二安装块和安装槽，所述第一安装块的端部设有固定块，所述固定块与所述安装槽连接，所述第一安装块与所述第二安装块连接，所述第一安装块与所述第二安装块的厚度之和与所述第一辅助垫板的厚度相同，所述第一辅助垫板与所述第二辅助垫板的厚度相同。

3.根据权利要求1所述的一种基于mems技术的电场传感器，其特征在于：所述缓冲机构包括缓冲块与缓冲弹簧，所述缓冲弹簧设置在所述连接槽内部，所述缓冲弹簧均匀设置，所述缓冲弹簧均与所述缓冲块连接。

4.根据权利要求2所述的一种基于mems技术的电场传感器，其特征在于：所述固定装置包括顶板和固定柱，所述固定柱与所述安装槽插接，所述固定柱与所述顶板为一体成型机构。

5.根据权利要求4所述的一种基于mems技术的电场传感器，其特征在于：所述顶板的中心位置设有通孔，所述接线口穿过所述通孔。

6.根据权利要求1所述的一种基于mems技术的电场传感器，其特征在于：所述第一连接块与所述第二连接块的内侧均设有缓冲垫，所述缓冲垫与所述传感器主体贴合。