[实用新型]组合式靶件

说明书

本实用新型提出了一种组合式靶件，包括靶柱和安装架，所述的安装架包括上下间隔设置的上安装架和下安装架，上安装架包括相互间隔设置的齿轮三和齿轮四，齿轮三和齿轮四上连接有环形的铰链一，下安装架包括相互间隔设置的齿轮五和齿轮六，齿轮五和齿轮六上连接有环形的铰链二，齿轮三与齿轮五联动连接，还包括驱动齿轮三转动的驱动装置三，靶柱设置在上安装架和下安装架之间，靶柱的上端与铰链一连接，靶柱的下端与铰链二连接，靶柱设有若干个，该若干个靶柱在铰链一周向方向上均匀排列；所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体。

技术领域

本实用新型涉及一种组合式靶件。

背景技术

靶可以理解为，表示阴极溅射系统中被溅射的材料。过去所使用的大部分溅射靶是构造为呈圆形的或呈矩形的所谓的平面靶。然而平面靶具有如下缺点：构成该平面靶的材料的仅约30％到40％得到有效溅射，其有效利用率低，使用寿命短。且目前使用的靶都是单个的靶体，而为了得到大量的溅射源，常会对照射束来进行优化设计，但是对照射束的优化往往会涉及到高成本和高难度的问题。

实用新型内容

针对背景技术中指出的问题，本实用新型提出一种组合式靶件，其由多个单体靶组合而成，并能进行多方向的运动，且其内部配置有冷却结构，不但能低成本的获取大量的溅射源，而且提高了靶的利用率，延长了其使用寿命。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种组合式靶件，包括靶柱和安装架，所述的安装架包括上下间隔设置的上安装架和下安装架，上安装架包括相互间隔设置的齿轮三和齿轮四，齿轮三和齿轮四上连接有环形的铰链一，下安装架包括相互间隔设置的齿轮五和齿轮六，齿轮五和齿轮六上连接有环形的铰链二，齿轮三与齿轮五联动连接，还包括驱动齿轮三转动的驱动装置三，靶柱设置在上安装架和下安装架之间，靶柱的上端与铰链一连接，靶柱的下端与铰链二连接，靶柱设有若干个，该若干个靶柱在铰链一周向方向上均匀排列；

所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。

本实用新型还进一步设置为，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱固定连接，安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱形成可转动连接，还包括一驱动承载体转动的驱动机构。

本实用新型还进一步设置为，所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二，所述的齿轮一与承载体同轴且联动设置，齿轮二与齿轮一啮合，驱动装置二与齿轮二连接用于驱动齿轮二转动。

本实用新型还进一步设置为：所述的安装架能前、后、左、右、上、下方向进行位置调节，所述的安装架能绕其中心轴线进行转动。

本实用新型还进一步设置为，还包括固定板，所述的固定板设置在安装架的上方，齿轮三和齿轮四与固定板形成转动连接，齿轮三与齿轮五通过中心柱一联动连接，齿轮四与齿轮六通过中心柱二联动连接，所述的驱动装置三设置在固定板上。

本实用新型还进一步设置为，所述的固定板上方设有滑杆一、滑杆二，滑杆一与滑杆二相互垂直设置，滑杆一与滑杆二形成滑动配合，滑杆二能沿滑杆一长度方向滑动，滑杆一上设有驱动滑杆二移动的驱动装置四，固定板与滑杆二滑动连接，固定板可沿滑杆二长度方向移动，滑杆二上设有驱动所述的固定板滑动的驱动装置五；还包括固定座，所述的滑杆一固定连接在固定座的下侧，固定座上连接有驱动其转动的驱动装置六，固定座上连接有驱动其上下移动的驱动装置七。