[实用新型]一种532nm超硬材料激光精密加工装备

权利要求书

1.一种532nm超硬材料激光精密加工装备，包括基座(16)，其特征在于，基座(16)上设有激光器，所述激光器内设有激光的Z型谐振腔，所述Z型谐振腔包括相邻布置的声光Q开关(2)、1064nm激光模块(1)和用于将1064nm光转换成532nm光的谐振镜片组，Z型谐振腔的输出端一侧设有波片(11)；激光器的输出端沿光路方向依次设有扩束镜(27)、装有聚焦镜的切割头(19)和夹具(20)；基座(16)上设有摄像头(22)和与夹具(20)连接的水平移动机构(21)。

2.根据权利要求1所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述扩束镜(27)与切割头(19)之间设有45度反射镜(17)，所述摄像头(22)位于45度反射镜(17)的上方。

3.根据权利要求2所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述45度反射镜(17)的上方设有与其平行布置的45度棱镜(23)，所述摄像头(22)的镜头水平朝向45度棱镜(23)。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述切割头(19)上设有吹扫机构(24)；所述基座(16)上设有扩束镜(27)的位置调节机构(30)。

5.根据权利要求1所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，在所述激光器中，Z型谐振腔的数量为两个且相互并列设置，两个Z型谐振腔的输出端设有合束镜组；两个Z型谐振腔的输出端朝向相同，所述合束镜组包括两者相互平行的第一全反镜(39)和合束镜(40)，第一全反镜(39)和合束镜(40)分别设置在所述两个Z型谐振腔的输出端一侧且与光路呈45度夹角，第一全反镜(39)和合束镜(40)两者镜面相对设置。

6.根据权利要求1或2或3或5所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述谐振镜片组包括沿光路依次布置的第一输出镜(3)、细孔光阑(4)、倍频晶体(5)和第二全反镜(6)；所述第一输出镜(3)为通532nm光、反射1064nm光的结构，倍频晶体(5)为能将1064nm光转换为532nm光的结构；激光模块(1)、细孔光阑(4)两者的朝向与第一输出镜(3)输入面之间均呈相同的夹角，所述波片(11)位于第一输出镜(3)输出面的一侧。

7.根据权利要求6所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述谐振镜片组还包括第三全反镜(9)和偏振片(8)，第三全反镜(9)、偏振片(8)和声光Q开关(2)三者依次布置，所述Z型谐振腔包括沿光路位于偏振片(8)和声光Q开关(2)之间的第四全反镜(7)。

8.根据权利要求1或2或3或5或7所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述激光器内沿所述波片(11)的输出光路依次设有两反射面相互平行的分光镜(12)和第二输出镜(13)。

9.根据权利要求7所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述偏振片(8)和第三全反镜(9)之间的光路方向与倍频晶体(5)和第二全反镜(6)之间的光路方向相平行，偏振片(8)和第三全反镜(9)之间的光路方向与激光模块(1)光路方向的夹角为10-50°。

10.根据权利要求6所述的一种532nm超硬材料激光精密加工装备，其特征在于，所述激光器内设有位于激光模块(1)与第一输出镜(3)之间可旋转的挡板(14)。