[实用新型]一种圆筒靶材用检测工装

说明书

本实用新型属于靶材检测设备技术领域，公开了一种圆筒靶材用检测工装，包括基座，所述基座为内空结构，其内部固定安装有第一动力系统和第一传动系统，所述第一动力系统为电动机，所述第一传动系统包括与电动机输出轴连接的减速机，所述减速机通过链轮连接有一个竖直设置的旋转柱，所述旋转柱延伸出基座，并作为旋转轴心，所述旋转柱上水平放置有旋转平台，所述旋转平台上还设置有夹紧装置；所述基座上还固定安装有检测装置。本实用新型结构简单，使用方便，填补了圆筒靶材检测工装方面的技术空白，既能够保证检测过程中很好地固定圆筒靶材，而且还能同时检测圆筒靶材的平行度和平面度。

技术领域

本实用新型涉及靶材检测设备技术领域，尤其涉及一种圆筒靶材用检测工装。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，按制作工艺划分，靶材有电弧靶材、溅射靶材、蒸镀靶材等。靶材需要进行机械加工，使其平面度、平行度及表面质量达到半导体产品生产的要求。相关技术中，在对尺寸较大且较薄的靶材进行加工时及容易出现变形和振动，造成靶材平面度、平行度及表面质量较差，影响后续半导体产品的生产。因此，靶材在生产的过程中一般都需要经过检测的工序，靶材检测前需要把靶材固定，以方便检测。

但是，现有技术中的靶材固定装置固定效果不好，且固定过程繁琐，因此在固定过程中，需要花费大量的时间。另一方面，靶材形状多种多样，而目前尚未见适用于圆筒靶材的检测工装的相关报道，尤其是用于同时检测圆筒靶材的平行度和平面度的装置。

发明内容

针对现有技术中圆筒靶材检测工装存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种圆筒靶材用检测工装。该检测工装填补了圆筒靶材检测工装方面的技术空白，既能够保证检测过程中很好地固定圆筒靶材，而且还能同时检测圆筒靶材的平行度和平面度。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种圆筒靶材用检测工装，包括基座，所述基座为内空结构，其内部固定安装有第一动力系统和第一传动系统，所述第一动力系统为电动机，所述第一传动系统包括与电动机输出轴连接的减速机，所述减速机通过链轮连接有一个竖直设置的旋转柱，所述旋转柱延伸出基座，并作为旋转轴心，所述旋转柱上水平放置有旋转平台，所述旋转平台上还设置有夹紧装置，用于固定圆筒靶材；所述基座上还固定安装有检测装置，用于同时检测圆筒靶材的平面度和平行度。

优选地，所述旋转平台上开设有腔体，所述腔体内部安装有第二动力系统和第二传动系统，所述第二动力系统为伺服电机，所述第二传动系统包括依次连接的第一皮带轮、第二皮带轮和螺杆，所述螺杆与所述腔体的两侧内壁转动连接；

所述旋转平台的顶部开设有滑槽，所述滑槽远离开口的一侧内壁上开设有条孔，所述夹紧装置一端通过轴套套设于螺杆上，另一端穿过条孔置于滑槽中，可在第二传动系统带动下沿滑槽自由移动。

进一步优选地，所述夹紧装置包括两个连接块，两个所述连接块一端分别通过轴套螺纹套设于螺杆上，另一端贯穿条孔并固定安装有滑块，所述滑块与滑槽的内壁滑动连接，两个所述滑块的顶部延伸至滑槽外并固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有夹块，两个夹块与圆筒靶材形状相适应。

进一步优选地，所述螺杆上开设有两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反，所述螺杆上固定套设有四个限位块。

进一步优选地，所述滑块的底部嵌有多个呈矩形分布的滚珠，多个滚珠均与滑槽的内壁滚动连接。