[实用新型]一种用于靶材拆卸的工装

说明书

本实用新型公开了一种用于靶材拆卸的工装，包括固定架和压紧装置，所述压紧装置包括压紧块和把手，所述固定架包括底座、槽型定位块、支撑架和固定套环，所述压紧块一端为螺纹尖端，把手固定安装在压紧块远离螺纹尖端一端，压紧块与固定套环内壁滑动套接，固定套环可拆卸固定于支撑架顶端，支撑架底端与底座固定连接，槽型定位块可拆卸安装在底座中心。本实用新型结构简单，使用方便，可以快速的对靶材进行拆卸，且不会对靶材造成损伤，操作容易，节约时间。

技术领域

本实用新型涉及靶材工装技术领域，更具体地，涉及一种用于靶材拆卸的工装。

背景技术

靶材做为镀膜用耗材，有一定寿命，需要进行定期的更换，而且更换作业的时间，在很大程度决定了设备的嫁动，继而决定了设备的产能，工业生产中ITO 靶材大多为空心状圆柱，生产过程中为了防止夹取空心靶材时用力过度，发生靶材破裂，故圆柱形空心状靶材往往是以“实心”的状态进行表面加工，也就是靶材的中心设有实心靶材柱，实心靶材柱与圆柱形空心靶材的中心孔过盈配合，此处做到一体化，在靶材表面加工完毕，再取出实心靶材柱。

现有技术中往往通过敲打实心靶材柱将其敲碎，或者，用安装块将实心靶材柱一端夹持后进行拉动，取出实心靶材柱，由于ITO靶材脆性高，往往由于力度控制不好，造成实心靶材柱和圆柱形空心状靶材的挤压或磕碰，一旦出现磕碰或过度挤压，则会使靶材碎裂。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中实心靶材拆卸易发生靶材破损等不足，提供一种防止靶材破损的用于靶材拆卸的工装。

本实用新型提供的用于靶材拆卸的工装，包括固定架和压紧装置，所述压紧装置包括压紧块和把手，所述固定架包括底座、槽型定位块、支撑架和固定套环，所述压紧块一端为螺纹尖端，把手固定安装在压紧块远离螺纹尖端一端，压紧块与固定套环内壁滑动套接，固定套环可拆卸固定于支撑架顶端，支撑架底端与底座固定连接，槽型定位块可拆卸安装在底座中心。

进一步地，所述可拆卸固定可以是螺纹固定、螺栓固定、卡扣固定。

优选地，所述可拆卸固定为是螺纹固定，通过可拆卸设计在主要是为了压紧块在定位旋入靶材后，最后拉扯时可根据实际情况选择将固定套环卸载，从而避免影响后续操作。

进一步地，所述可拆卸安装可以是螺栓固定。

进一步地，所述固定套环可以固定压紧装置的位置，使得压紧块一端的螺纹尖端对准靶材中心，并垂直于底座。

进一步地，所述螺纹尖端为金属材质。

进一步地，所述槽型定位块的凹槽与靶材大小匹配。

进一步地，所述把手可带动压紧块旋转，使螺纹尖端旋入靶材中。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过压紧块的螺纹尖端旋入填充的实心靶材中拉扯带出实心靶材，从而获得完整的、加工后的空心ITO靶材，本实用新型操作过程中使用的力度小，可有效防止空心靶材的碎裂，而且拔出的实心靶材往往比较完整，可以重复利用。本实用新型所述的工装装置结构简单，使用方便，可以快速的对靶材进行拆卸，不但大大节约了劳动成本，同时还减少了材料的破损，大大降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型俯视图；

图中：1、压紧块；2、把手；3、螺纹尖端；4、底座；5、槽型定位块；6、支撑架；7、固定套环；8、圆柱形空心靶材；9、圆柱形实心靶材柱。

具体实施方式