[实用新型]一种用于靶材机械加工的工装

说明书

本实用新型公开了一种用于靶材机械加工的工装，该工装包括底座所述底座上设有固定板和支撑架，所述固定板和支撑架相对设置，所述固定板上安装有夹持圈，所述夹持圈包括尺寸相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段，所述固定板上设有三条卡槽，卡槽内安装有弹簧，所述弹簧分别与圆弧段连接，圆弧段可以沿着卡槽滑动；所述支撑架上安装有定位环。本实用新型可以对不同尺寸的ITO靶材进行加工，通过在ITO圆筒靶材一端设置夹持圈，另一端设置定位环，从两端固定ITO圆筒靶材，保证了加工过程中靶材的平稳。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，更具体地，涉及一种用于靶材机械加工的工装。

背景技术

ITO靶材呈圆柱空心状，在对ITO靶材进行加工时，需要保证ITO靶材内圆和外圆的平行度。所以除了将靶材外圆表面打磨规则后，还需要对靶材内圆进行加工，使用砂轮将靶材内圆打磨平整。由于ITO靶材脆性高，材质易碎，在加工时对工装要求较高，除了贴合性好之外，还需要在加工时保持平稳，防止打磨过程中旋转的砂轮碰裂靶材。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种用于靶材机械加工的工装，通过夹持圈和固定环配合，能有效保证打磨过程中ITO靶材的平稳。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种用于靶材机械加工的工装，包括底座，所述底座上设有固定板和支撑架，所述固定板和支撑架相对设置，所述固定板上安装有夹持圈，所述夹持圈包括尺寸相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段，所述固定板上设有三条卡槽，卡槽内安装有弹簧，所述弹簧分别与圆弧段连接，圆弧段可以沿着卡槽滑动；所述支撑架上安装有定位环。

进一步地，所述夹持圈和定位环同轴。

进一步地，所述固定板上以夹持圈圆心为中心，标有圆形刻度。

进一步地，所述三条卡槽相交于夹持圈的圆心处。

进一步地，所述夹持圈内表面设置有橡胶垫。

进一步地，所述定位环上设有定位块。

进一步地，所述定位环上设置至少3个定位块。

进一步地，所述定位块通过螺纹连接贯穿在定位环上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型将三段圆弧与弹簧连接，通过弹簧的拉伸与收缩扩大了夹持圈的作用范围，在机械加工时，可以对不同尺寸的ITO靶材进行加工。同时在定位板上标有圆形刻度，工作时可以根据刻度调整圆弧段和靶材的位置，保证了位置的准确性。

本实用新型在ITO圆筒靶材一端设置夹持圈，另一端设置定位环，从两端固定ITO圆筒靶材，保证了加工过程中靶材的平稳。

本实用新型在夹持圈内表面设置了橡胶垫，与ITO靶材贴合性好，同时也不会对靶材造成过度挤压；在定位环上设置的定位块可以对ITO靶材精准定位。

附图说明

图1为用于靶材机械加工的工装的结构示意图。

其中，1为底座，2为支撑架，3为定位环，4为定位块，5为固定板，6为卡槽，7为圆弧段。

具体实施方式

附图仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。附图中描述位置关系仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1