[实用新型]一种电子气体尾气的回收装置

权利要求书

1.一种电子气体尾气的回收装置，其特征是包括吸收塔T101，脱轻塔T102、脱重塔T103、预处理塔T104、吸收剂回收塔T105，一级冷阱L101和二级冷阱L102；吸收塔T101上部设有吸收剂进口，下部设有电子气体尾气进口，顶部设有塔顶采出口，底部设有塔底物料采出口，其中吸收剂进口连接脱轻塔T102底部和吸收剂回收塔T105下部，塔顶采出口连接预处理塔T104下部，塔底物料采出口连接脱轻塔T102中部；脱轻塔T102设有物料进口、塔顶采出口、塔底采出口，其中物料进口连接吸收塔T101，塔顶采出口采出轻组分，塔底采出口一路连接吸收塔T101、一路连接脱重塔T103；脱重塔T103设有物料进口、塔顶采出口、塔底采出口，其中物料进口连接脱轻塔T102，塔顶采出口采出高纯度电子气体产品，塔底采出口连接吸收剂回收塔T105；吸收剂回收塔T105设有物料进口、塔顶采出口、塔底采出口和下部侧线采出口，其中塔顶采出口采出轻杂质，下部侧线采出口连接吸收塔T101顶部，塔底采出口采出重组分；预处理塔T104设有连接吸收塔T101顶部的下部物料进口，连接一级冷阱L101、二级冷阱L102底部的中部物料进口，塔顶采出口及塔底采出口，塔顶采出口连接一级冷阱L101底部，一级冷阱L101设有物料进口、顶部采出口、底部采出口，其中物料进口连接预处理塔T104顶部，顶部采出口连接二级冷阱L102底部，底部采出口连接预处理塔T104中部；二级冷阱L102设有物料进口、顶部采出口、底部采出口，其中物料进口连接一级冷阱L101，底部物料出口连接预处理塔T104中部物料进口，顶部采出口采出高纯稀有气体。