[实用新型]一种红外玻璃缺陷显微检测系统有效
申请号: | 201920378843.3 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN209821085U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 郑轶;冯龄 | 申请(专利权)人: | 成都诺为光科科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 51214 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人: | 韩雪 |
地址: | 610041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半透半反射镜片 变倍显微镜 红外玻璃 样品放置 红外相机 显微检测 本实用新型 长工作距离 照明光源 检测端 物镜 光线通过 深度测量 微观缺陷 系统结构 传递 可视化 缺陷点 反射 成像 体内 检测 观察 | ||
本实用新型公开了一种红外玻璃缺陷显微检测系统,包括样品放置端和检测端,样品放置端用于样品的放置,以便样品的检测;检测端包括照明光源、半透半反射镜片、红外相机、变倍显微镜和LWD长工作距离物镜,红外相机与变倍显微镜连接,变倍显微镜与半透半反射镜片连接,半透半反射镜片与LWD长工作距离物镜连接,照明光源光线通过半透半反射镜片传递至样品放置端,样品放置端反射出的光线经半透半反射镜片、变倍显微镜传递至红外相机成像;本实用新型的红外玻璃缺陷显微检测系统可实现红外玻璃体内微观缺陷的可视化观察;可实现对缺陷点深度测量;红外玻璃缺陷显微检测系统结构简单、功能性好,具有良好的经济性和实用性。
技术领域
本实用新型涉及玻璃检测领域,特别是涉及一种红外玻璃缺陷显微检测系统。
背景技术
红外玻璃具有良好的红外光学性能,如玻璃组分易调节,透过光谱范围宽,折射率与锗单晶相差较大,容易与锗镜片构成消色差透镜组等优点,因此在军事、民用方面的应用范围越来越广泛,对红外玻璃材料的质量的要求也日益提高。玻璃内部宏观缺陷(如条纹、裂纹、析晶、分相、气泡等)成为决定红外玻璃质量的关键指标之一,一般来说宏观缺陷主要是由玻璃熔制工艺中玻璃液化学组分的不均匀性,以及凝固成形过程中引起的热不均匀性造成的。
目前国内公开的一些玻璃内部缺陷检测装置及方法专利和文献,用于红外玻璃检测往往存在一些问题。如采用光学干涉检测方法,其装置显得比较复杂,而且玻璃窗口的污染,实验系统的振动,光学仪器的缺陷,以及照明光源亮度的不均匀等都会引入噪声,操作也不方便。同时现有的红外玻璃检测系统,采用的样品位移台多采用半自动工控台,需要人工加机械的方式,实现对样品的控制,操作耗时耗力,且容易产生误差,降低检测效率。同时,检测效果不够全面,不能检测到红外玻璃缺陷点的具体深度,不能实现精确测量。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种红外玻璃缺陷显微检测系统,可实现对红外玻璃的缺陷点进行精确测量,在测量过程中,可提供自动扫描和自动识别,使得整个测量方式更加智能化。
一种红外玻璃缺陷显微检测系统,包括样品放置端和检测端,样品放置端用于样品的放置,以便样品的检测;检测端包括照明光源、半透半反射镜片、红外相机、变倍显微镜和LWD长工作距离物镜,红外相机与变倍显微镜连接,变倍显微镜与半透半反射镜片连接,半透半反射镜片与LWD长工作距离物镜连接,照明光源光线通过半透半反射镜片传递至样品放置端,样品放置端反射出的光线经半透半反射镜片、变倍显微镜传递至红外相机成像。
作为一种优选方案,半透半反射镜片采用50%光线透射,50%光线反射设置。
作为一种优选方案,样品放置端包括样品夹持装置和位移台,位移台带动样品夹持装置移动。
作为一种优选方案,位移台为第一电动位移台,第一电动位移台可支持样品夹持装置在竖直方向和水平方向移动。
作为一种优选方案,第一电动位移台相对于检测端,仅可上下和左右移动,检测端还包括有用于支持检测端移动的第二电动位移台,第二电动位移台相对于样品放置端仅可前后移动。
作为一种优选方案,红外玻璃缺陷显微检测系统还包括自动识别控制系统,自动识别控制系统与样品放置端信号连接,以实现红外玻璃缺陷显微检测系统对红外玻璃缺陷点进行自动识别。
作为一种优选方案,自动识别控制系统还与检测端信号连接,以实现红外玻璃缺陷显微检测系统对红外玻璃缺陷点的深度进行测量。
作为一种优选方案,照明光源与半透半反射镜片通过光纤连接。
本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型的红外玻璃缺陷显微检测系统可实现红外玻璃体内微观缺陷的可视化观察;
2、本实用新型的红外玻璃缺陷显微检测系统可实现对缺陷点深度测量;
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