[实用新型]晶圆清洗用有机溶剂在线加热器

说明书

本实用新型提供了一种包括加热内桶、隔热外罩和外丝式加热器的晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，加热内桶和隔热外罩由不锈钢材质焊接而成，隔热外罩套装在所述加热内容的外部，并在与加热内筒之间的缝隙内填充隔热棉；外丝式加热器用于为加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内筒中。本实用新型利用外丝式加热器对有机溶剂加热，并设置有密封包覆加热丝的罩管，避免加热丝直接接触化学品，防止加热器老化，同时也防止避免污染有机溶剂，保障有机溶剂的洁净度。同时，在加热内桶外套装了隔热外罩，并在两者之间填充隔热棉，防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，特别是指晶圆清洗用有机溶剂在线加热器。

背景技术

晶圆在清洗过程中需要对化学有机溶剂加热，当前化学品加热是把电炉丝加热器直接放置在化学品中加热，或者是通过加热水，利用管路循环在化学品中间接加热，主要存在以下缺陷：1、直接投放加热器，加热器容易老化和损坏；2、加热器表面洁净度达不到要求，会给化学品造成污染，影响晶圆的良率或者直接报废；3、用水或者其他介质通过管路间接加热，消耗能耗大，湿度控制精度差，影响芯片生产良率或者直接报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，以解决上述问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，包括：

加热内桶，由不锈钢材质焊接而成，其具有进液口和出液口；

隔热外罩，由不锈钢材质焊接而成，其套装在所述加热内容的外部，并在与加热内筒之间的缝隙内填充隔热棉；

外丝式加热器，用于为所述加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内筒中，其连接部位于所述隔热外罩的外部；

不锈钢材质的罩管，其密封包覆在所述外丝式加热器的加热丝外部以阻隔加热丝接触有机溶剂；

外丝式K型热电偶，用于监测所述加热内桶中的有机溶剂的温度，其安装于所述加热内桶中；

不锈钢材质的罩壳，其密封包覆在外丝式K型热电偶的外部以阻隔K型热电偶接触有机溶剂。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述隔热外罩对应所述进液口和出液口处分别设置有不锈钢材质的液管，所述液管的两端分别与所述隔热外罩和加热内桶焊接。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述罩壳和/或罩管焊接于所述加热内桶内。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述加热内桶和隔热外罩中均设置有容所述外丝式加热器插入的槽孔，这两个槽孔之间焊接有不锈钢材质的连接管道；所述连接管道中安装有密封圈。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述外丝式加热器为三根；这三根外丝式加热器周向均布在所述加热内桶内。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述加热内桶中设置有支撑所述外丝式加热器的支撑架。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型利用外丝式加热器对有机溶剂加热，并设置有密封包覆加热丝的罩管，避免加热丝直接接触化学品，防止加热器老化，同时也防止避免污染有机溶剂，保障有机溶剂的洁净度。

2.本实用新型在加热内桶外套装了隔热外罩，并在两者之间填充隔热棉，防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率；

3.本实用新型的整体结构由不锈钢316材质密封式全焊接加工，其整体无油气保制作，确保不锈钢316材质于有机溶剂中可达高洁净度需求；