[实用新型]一种适用于激光器放电腔的钝化装置

权利要求书

1.一种适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，包括：

真空烘烤箱，待钝化的放电腔置于所述真空烘烤箱中；

显控单元，用于对所述真空烘烤箱和所述放电腔的温度及压力进行控制和显示；

真空泵，用于对所述放电腔和所述真空烘烤箱进行抽真空；

气体供给单元，用于向所述放电腔提供钝化气体。

2.如权利要求1所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，还包括：

气体分析仪，用于对所述放电腔内和所述真空烘烤箱内的气体进行取样分析；

与所述真空泵和所述气体分析仪连接的卤素过滤器，用于过滤除去废气中的卤素。

3.如权利要求1所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述显控单元包括真空烘烤箱温度控制单元和真空烘烤箱压力控制单元，所述真空烘烤箱温度控制单元和真空烘烤箱压力控制单元分别与真空烘烤箱连接。

4.如权利要求1所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述显控单元包括放电腔温度控制单元和放电腔压力控制单元，所述放电腔温度控制单元和放电腔压力控制单元分别与放电腔连接。

5.如权利要求1所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述真空烘烤箱的恒温烘烤温度范围为20-200℃。

6.如权利要求1所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述真空烘烤箱的真空范围为1-0.01Mpa。

7.如权利要求2所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述真空烘烤箱和气体分析仪之间的管路上设置第一气动阀，所述真空烘烤箱和真空泵之间的管路上设置第二气动阀，所述第一气动阀和第二气动阀分别控制相应气体的通断。

8.如权利要求2所述的适用于激光器放电腔的钝化装置，其特征在于，所述放电腔和气体分析仪之间的管路上设置第三气动阀，所述放电腔和真空泵之间的管路上设置第四气动阀，所述放电腔和气体供给单元之间的管路上设置第五气动阀，所述第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀分别控制相应气体的通断。