[实用新型]一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器

权利要求书

1.一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器，从下至上包括硅衬底、隔离层、波导层、上包层、加热电极和电极引线，其特征在于：所述波导层包括阵列波导光栅(110)、若干个传输波导(120)和若干个微环谐振滤波器(130)，阵列波导光栅(110)中设有若干个输出波导(5)，每个输出波导(5)均通过一个传输波导(120)连接一个微环谐振滤波器(130)，阵列波导光栅(110)中若干个输出波导(5)依次通过若干个传输波导(120)连接若干个微环谐振滤波器(130)组成微环集成的阵列波导光栅波分复用器。

2.根据权利要求1所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述阵列波导光栅(110)包括输入波导(1)、阵列波导(3)和输出波导(5)，输入波导(1)包括输入平板波导(2)，输出波导(5)包括输出平板波导(4)，输入波导(1)连接输入平板波导(2)，输入平板波导(2)通过阵列波导(3)连接输出平板波导(4)，输入平板波导(2)和输出平板波导(4)设置成罗兰圆结构，输出平板波导(4)连接输出波导(5)。

3.根据权利要求2所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述输入波导(1)与输出波导(5)数目为任意正整数。

4.根据权利要求1所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述微环谐振滤波器(130)包括输入直波导(131)、环形谐振腔(132)、波长调谐结构(11)和输出直波导(133)，输入直波导(131)和位于输入直波导(131)下部的环形谐振腔(132)间存在第一耦合区(10)，输出直波导(133)和位于输出直波导(133)上部的环形谐振腔(132)间存在第二耦合区(12)。

5.根据权利要求4所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述微环谐振滤波器(130)的自由光谱仪区FSR要大于阵列波导光栅(110)的相邻通道间隔。

6.根据权利要求4所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述微环谐振滤波器(130)每个微环谐振滤波器的谐振波长必须与相连的阵列波导光栅(110)输出波导(5)输出的光信号中心波长相同或相近。

7.根据权利要求4所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述微环谐振滤波器(130)的输入直波导(131)分为输入直波导输入端(6)和输入直波导直输出端(7)，输出直波导(133)分为输出直波导下载端(8)和输出直波导上载端(9)。

8.根据权利要求4所述的微环集成的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述微环谐振滤波器(130)的波长调谐结构(11)为作用在环形谐振腔(132)上连接驱动电源的加热器，位于波导层且由离子掺杂形成，或者位于波导的SiO₂上包层由高电阻材料构成。