[实用新型]一种真空设备放气取样装置

说明书

本实用新型公开了一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。本实用新型能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发实用新型能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本实用新型使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。

技术领域

本实用新型属于真空设备放气测量及取样技术领域，具体涉及一种真空设备放气取样装置。

背景技术

任何材料处于真空环境都会产生气体的释放。放出气体的多少可以用放气量这一指标衡量，通常放气量测量方法有定容法、定压法、固定流导法、收集法和称重法等。而对放气成分分析的方法，通常有在被测设备上安装分析仪器进行分析（在线分析）和采集设备放出气体样（取样）再通过专业仪器分析两种方法。

对于高真空设备，当存在转动及运动部件时，内部产生的气体流动，压力呈不均匀分布，这时使用定容法、定压法、固定流导法等无法准确的获得放气量。而采用收集法、称重法等，需要收集高真空设备内部释放出的全部气体，因此，需要将高真空设备原有抽空管路隔断，这一过程可能会导致高真空设备内压力的升高，损害高真空设备。对于高真空设备放气成分分析，如果采用在线分析，由于高真空设备内部压力非均匀分布，处于高真空设备内部各部位的气体成分及含量可能不同，无法准确分析放气成分及含量。而采用取样分析的方法，必须解决将高真空设备原有抽空管路隔断后真空度破坏问题。与此同时，还需要解决气体收集不完全的问题。

对于如何在保证高真空设备真空要求前提下，达到放气量准确测量及取样获得全部放气成分的装置，通过查阅相关文献，未见描述。

发明内容

本实用新型为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种真空设备放气取样装置。

本实用新型的技术方案是：一种真空设备放气取样装置，包括高真空设备，所述高真空设备与放气量测量组件相连，所述放气量测量组件包括与高真空设备连通的Ⅱ号阀门、Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门，所述Ⅲ号阀门与Ⅰ号分子泵连通，所述Ⅰ号分子泵与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门、Ⅱ号真空计、放气量测量容器串联。

所述放气量测量容器两端并联有取样组件，所述取样组件包括依次串联的Ⅲ号真空计、Ⅳ号阀门、取样器、Ⅴ号阀门。

所述取样器置于液氮罐中。

所述高真空设备、Ⅰ号分子泵、Ⅱ号真空计、放气量测量容器、取样器还与抽真空组件连通。

所述抽真空组件包括机械泵，所述机械泵与Ⅱ号分子泵连通，所述Ⅱ号分子泵通过Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门与液氮冷阱连通，所述液氮冷阱通过Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门与放气量测量容器连通。

所述取样组件一端与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，另一端与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。

所述Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门之间设置有抽真空支管路，所述抽真空支管路另一端与Ⅱ号阀门、Ⅲ号阀门之间的管路连通。

所述抽真空支管路上设置有ⅩⅣ号阀门、Ⅷ号阀门。

所述抽真空支管路上还设置有Ⅰ号分支管和Ⅱ号分支管，所述Ⅰ号分支管上设置有Ⅻ号阀门。

所述Ⅰ号分支管与ⅩⅢ号阀门、Ⅺ号阀门之间的管路接通，所述Ⅱ号分支管与Ⅸ号阀门、Ⅹ号阀门之间的管路接通。

本实用新型能够获得高真空设备单位时间内等效标准环境条件下放气量。本发实用新型能够进行高真空设备内放出气体成分的全收集。本实用新型使用分子泵及液氮冷阱，有效减少了装置内的油蒸汽等污染物，同时通过除气，减少了装置放气对测量、取样的影响。

附图说明