[实用新型]一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板

权利要求书

1.一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，包括托板本体(1)，其特征在于，托板本体(1)的材质为铝合金，托板本体(1)的一侧面设置有若干散热片(2)，托板本体(1)内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道(3)，冷却通道(3)整体呈曲折线型布置。

2.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，托板本体(1)有散热片(2)的一侧面设置有至少三个承重支架(4)，其中两个承重支架(4)分别设置在托板本体(1)边缘，散热片(2)分布在每相邻两承重支架(4)之间。

3.根据权利要求2所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，承重支架(4)包括连接在托板本体(1)上的承重板(4.1)和安装板(4.2)，承重板(4.1)为直角三角形，承重板(4.1)斜边朝上，安装板(4.2)通过若干螺钉垂直连接在承重板(4.1)的直角边。

4.根据权利要求2或3所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，承重支架(4)的材质为铝合金。

5.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，散热片(2)的材质为铝合金或/和铜。

6.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，冷却通道(3)内的冷却介质为水或风。