[实用新型]扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置

权利要求书

1.一种扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置，其特征是：

包括离心杯、杯盖和灌注胶管；

杯盖和离心杯的杯口连接，杯盖上设有进气口；

离心杯底部设有与离心杯一体化的转接头，转接头中心为一与离心杯连通的圆柱型通槽，转接头下部设有第一外螺纹；

灌注胶管的出胶口设有与第一外螺纹匹配的第一内螺纹，通过第一外螺纹和第一内螺纹将灌注胶管和转接头连接。

2.如权利要求1所述的扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置，其特征是：

所述杯盖设有第二内螺纹，所述离心杯的杯口处设有匹配的第二外螺纹，杯盖通过螺纹连接方式与离心杯的杯口连接。

3.如权利要求1所述的扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置，其特征是：

所述灌注胶管包括胶管主体和内活塞，内活塞设于胶管主体内。

4.如权利要求3所述的扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置，其特征是：

所述灌注胶管还包括旋钮塞头和背盖，当灌注胶管不使用时，采用旋钮塞头封住出胶口，采用背盖封住灌注胶管的另一端，所述另一端指非出胶口的一端。

5.如权利要求1所述的扇出型晶圆级封装用液体模封胶灌注装置，其特征是：

所述离心杯为双层结构，通过向内外两层间的空腔内注入冷却水，来实现液体胶的快速降温。