[实用新型]一种用于碳化硅晶圆测试的载物台有效

申请号：	201920400600.5	申请日：	2019-03-27
公开（公告）号：	CN209471932U	公开（公告）日：	2019-10-08
发明（设计）人：	王翼;李赟;赵志飞;李忠辉	申请（专利权）人：	中国电子科技集团公司第五十五研究所
主分类号：	H01L21/66	分类号：	H01L21/66;H01L21/673;H01L21/68
代理公司：	南京理工大学专利中心 32203	代理人：	陈鹏
地址：	210016 ***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	定距杆碳化硅晶圆载物台台面晶圆测试滑道转轴定位槽载物台同心圆本实用新型电机驱动固定螺丝基座连接平行线段位置误差中心连接定位边滑动夹取载物背面升降
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【权利要求书】：

1.一种用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，包括载物台台面(1)、定距杆(2)、定距杆滑道(3)、定位槽(4)、转轴(6)和基座(7)；载物台台面(1)上设置有多个同心圆，定距杆(2)配有固定螺丝(5)，定距杆可在对应的定距杆滑道(3)上滑动，对碳化硅晶圆进行定位，定距杆滑道(3)上标有刻度；所述定位槽(4)刻有多条平行线段；转轴(6)顶部与载物台台面(1)背面中心连接，通过电机驱动载物台台面(1)升降和旋转，转轴(6)底部与基座(7)连接。

2.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，定距杆(2)和定距杆滑道(3)数量均为4个，定距杆滑道(3)均匀分布在载物台台面(1)上，相邻定距杆滑道(3)的夹角为90°。

3.根据权利要求1或2所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，固定螺丝(5)设置在载物台背面或者侧面，和定距杆(2)连接。

4.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，基座(7)上配有传送带(12)，由电机驱动，带动转轴(6)移动。

5.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，所示定位槽(4)设置在两个定距杆滑道(3)之间。

6.根据权利要求5所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，定位槽(4)的平行线段至少为5条，平行线段间隔不大于3mm。

7.根据权利要求1、5或6所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，定位槽(4)的宽度为10-30mm，深度为5mm。

8.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶圆测试的载物台，其特征在于，定距杆(2)的高度为2-5mm，直径为1mm。

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