[实用新型]一种氟化物泄漏测试装置

说明书

本实用新型的发明目的在于提供一种氟化物泄漏测试装置，用于检测温控设备管路是否有氟化液泄漏的情况；包括测试支架1，上步进电机3，下步进电机4，第二导轨9，传感探头10，主机11，移动支架12；所述支架1包括回形底座，所述回形底座上对称设置两组立杆，每组所述立杆之间各设置一根横梁；每个所述横梁上各设置一个移动支架12；每个所述移动支架12上各设置有上步进电机3和下步进电机4，各还设置有第二导轨9和传感探头10；所述第二导轨9与所述传感探头10共轴；本实用新型的有益效果为节约人力，操作方便，快速有效。

技术领域

本实用新型属于制冷剂泄漏测试技术领域，尤其涉及一种氟化物泄漏测试装置。

背景技术

氟化液具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-50℃至128℃，主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。在温控系统的制造过程中需要对管路进行氟化液的泄漏测试，除了配合使用专用的设备外，需要解决怎么能快速找到泄漏位置。现有的方法是用过人力查找，操作困难，效率低下。如有泄漏，由于人员在设备附近，周围的空气相对不是静止的，这样很难快速找找泄漏点。

已公开中国实用新型专利，公开号：CN203908742U，专利名称：一种制冷剂泄漏测试装置，申请日：20141029，其公开了一种制冷剂泄漏测试装置，包括制冷剂储液罐、流量控制器、计量部件、用于将液态制冷剂气化的气化部件，所述气化部件包括换热器和用于加热所述换热器的加热部件；所述流量控制器连接于所述制冷剂储液罐，计量部件为电子天平，所述制冷剂储液罐设置于电子天平上；所述流量控制器连接有穿设于换热器的主管路；所述制冷剂泄漏测试装置还包括控制部件，所述控制部件电连接于所述流量控制器、电子天平和所述加热部件。本实用新型所提供的制冷剂泄漏测试装置，其可以准确控制制冷剂气体流量。即使由于制冷剂罐的温度急剧降低的情况下，也可以精准地保证制冷剂的泄漏总量，测试结果准确、测试可靠性高。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于提供一种氟化物泄漏测试装置，用于检测温控设备管路是否有氟化液泄漏的情况。

本实用新型提供一种氟化物泄漏测试装置，包括测试支架1，上步进电机3，下步进电机4，第二导轨9，传感探头10，主机11，移动支架12；

所述支架1包括回形底座，所述回形底座上对称设置两组立杆，每组所述立杆之间各设置一根横梁；

每个所述横梁上各设置一个移动支架12；每个所述移动支架12 上各设置有上步进电机3和下步进电机4，各还设置有第二导轨9和传感探头10；

所述第二导轨9与所述传感探头10共轴；

所述主机(11)电连接所述传感探头(10)。

优选的，每组所述立杆各对称设置两组导轨槽8和传输带7；所述横梁的两端分别连接在对称设置的所述导轨槽8，并与所述传输带 7连接。

优选的，还包括底步进电机2；所述底步进电机2设置在所述测试支架1的回形底座上。

优选的，所述传感探头10为吸入式传感器。

优选的，所述每个横梁各还包括一组丝杆5和第一导轨6；所述丝杆5和所述第一导轨6自下向上依次设置；所述移动支架12固定在每组所述丝杆5和第一导轨6上。

优选的，所述底步进电机2设置有多个，多个所述底步进电机2 分别与对应的所述传输带7固定连接。

优选的，所述传感探头10相对设置。

本实用新型的有益效果为节约人力，操作方便，快速有效。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图中，