[实用新型]一种自动曝光机

权利要求书

1.一种自动曝光机，其特征在于，所述自动曝光机包括用于通过气浮式结构对待曝光基板进行对位操作的第一气浮式对位装置、用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行第一表面的曝光操作的第一气浮式曝光装置、用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行板面翻转操作的气浮式翻转装置、用于通过气浮式结构对翻转后的所述待曝光基板进行再次对位操作的第二气浮式对位装置、用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行第二表面的曝光操作的第二气浮式曝光装置以及用于通过气浮式结构对曝光完成的所述待曝光基板进行出料操作的气浮式出料装置；所述第一气浮式对位装置、所述第一气浮式曝光装置、所述气浮式翻转装置、所述第二气浮式对位装置、所述第二气浮式曝光装置以及所述气浮式出料装置依次对接设置。

2.如权利要求1所述的自动曝光机，其特征在于，所述第一气浮式对位装置、所述第一气浮式曝光装置、所述气浮式翻转装置、所述第二气浮式对位装置、所述第二气浮式曝光装置以及所述气浮式出料装置呈一字排列设置。

3.如权利要求1所述的自动曝光机，其特征在于，所述第一气浮式对位装置、所述第一气浮式曝光装置、所述气浮式翻转装置、所述第二气浮式对位装置、所述第二气浮式曝光装置以及所述气浮式出料装置呈两排设置，使得所述第一气浮式对位装置与所述气浮式出料装置相邻设置、所述第一气浮式曝光装置与所述第二气浮式曝光装置相邻设置、所述气浮式翻转装置与所述第二气浮式对位装置相邻设置。

4.如权利要求1-3任一所述的自动曝光机，其特征在于，所述第一气浮式对位装置及所述第二气浮式对位装置分别包括气浮对位平台与移载对位装置，所述气浮对位平台包括气浮对位平面，所述移载对位装置包括与待曝光基板的大小相适配的基板定位框以及驱动所述待曝光基板由所述气浮对位平面的上方平移到所述第一气浮式曝光装置的上方的平移运动机构。

5.如权利要求4所述的自动曝光机，其特征在于，所述基板定位框包括对位挡板、第一活动挡板、两间隔设置的第二活动挡板、第一驱动机构以及两第二驱动机构；所述对位挡板的长度与所述待曝光基板的长度或宽度相适配；所述第一活动挡板与所述对位挡板相互平行设置；所述第一驱动机构与所述第一活动挡板驱动连接，以驱动所述第一活动挡板远离或靠近所述对位挡板；每一所述第二活动挡板分别与所述对位挡板相互垂直设置；两所述第二驱动机构与两所述第二活动挡板一一对应驱动连接，以驱动相应的两所述第二活动挡板相向或相离远动，使得所述对位挡板、所述第一活动挡板、两所述第二活动挡板活动围成与所述待曝光基板的大小相适配的所述基板定位框。

6.如权利要求1-3任一所述的自动曝光机，其特征在于，所述第一气浮式曝光装置及所述第二气浮式曝光装置分别包括气浮曝光平台、底片框、对位相机以及曝光光源，所述气浮曝光平台包括气浮吸附一体曝光平面，所述底片框、所述对位相机以及所述曝光光源依次设于所述气浮吸附一体曝光平面的上方。

7.如权利要求1-3任一所述的自动曝光机，其特征在于，所述气浮式翻转装置包括第一气浮翻转平台、第二气浮翻转平台以及翻转机构；所述第一气浮翻转平台包括第一气浮翻转平面，所述第二气浮翻转平台包括第二气浮翻转平面，所述第一气浮翻转平面与所述第二气浮翻转平面上下相对间隔设置，使得所述待曝光基板悬浮于所述第一气浮翻转平面与所述第二气浮翻转平面之间；所述第一气浮翻转平台与所述第二气浮翻转平台之间通过若干挡板结构连接固定，所述翻转机构驱动连接所述第二气浮翻转平台的底部，以实现所述第一气浮翻转平台与所述第二气浮翻转平台的共同翻转。

8.如权利要求7所述的自动曝光机，其特征在于，若干所述挡板结构在所述第一气浮翻转平台与所述第二气浮翻转平台之间形成进料口与出料口，所述进料口的进料方向与所述出料口的出料方向相同或相互垂直设置。

9.如权利要求7所述的自动曝光机，其特征在于，所述气浮式翻转装置还包括推板机构，所述推板机构包括一在所述第一气浮平面与所述第二气浮平面之间自由移动的推板以及驱动所述推板工作的推板电机。

10.如权利要求1-3任一所述的自动曝光机，其特征在于，所述气浮式出料装置包括升降式气浮出料平台以及出料滚轮机构，所述升降式气浮出料平台包括出料气浮平面以及驱动所述出料气浮平面升降的升降驱动电机，所述出料气浮平面镂空设置形成若干均匀分布的滚轮轴安装位，所述出料滚轮机构包括若干出料滚轮轴以及驱动所述若干出料滚轮轴转动的滚轮轴驱动电机，所述若干出料滚轮轴一一对应安置于相应的所述滚轮轴安装位中。