[实用新型]一种紧凑高效异型件超厚膜层设备

说明书

本实用新型公开了一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，包括真空室壳体，所述真空室壳体上端固定焊接有第一分子泵法兰接口，所述真空室壳体的前端右侧和后侧左侧均固定焊接有金属离子注入法兰接口，所述真空室壳体的前端中部固定焊接有样品导入法兰接口，所述真空室壳体的前侧左下部和右下部均焊接有磁过滤沉积法兰接口，所述真空室壳体的下端中部焊接有第二分子泵法兰接口，所述真空室壳体的后端中部焊接有加热管法兰接口，所述真空室壳体的左侧上部固定连接有自动观察窗。该紧凑高效异型件超厚膜层设备，制备高质量混合层以及过渡层，使涂层与基底结合良好，有效降低类金刚石膜的内应力，提高整体涂层质量。

技术领域

本实用新型涉及工业技术领域，具体为一种紧凑高效异型件超厚膜层设备。

背景技术

陶瓷涂层的抗腐蚀性能优良，具有韧性好，热硬性高，能承受一定的弹性形变压力。相对于化学气相沉积，采用物理沉积方法沉积涂层，大大地改善了涂层与基体的结合力，使其有着广泛的应用。然而，陶瓷膜层一般摩擦系数偏高，这在涉及到需要提高工件的耐磨性能时其效果相对有限。众所周知，类金刚石薄膜具有许多与金刚石薄膜相似的性能，如硬度、超低的摩擦系数、磨损率低、导热性能好、热膨胀系数小等特点，磁过滤沉积技术作为一种高离化率技术，具有膜层沉积过程可控性好，膜层性能(包括膜基结合力、力学性能、耐摩擦磨损性能及耐化学腐蚀性能等)大大改善的优点。但从沉积效率的角度来讲，该技术存在的缺点是沉积速率太低，且镀膜相对绕射性差，因此我们提出了一种紧凑高效异型件超厚膜层设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种紧凑高效异型件超厚膜层设备，包括真空室壳体，所述真空室壳体上端固定焊接有第一分子泵法兰接口，所述真空室壳体的前端右侧和后侧左侧均固定焊接有金属离子注入法兰接口，所述真空室壳体的前端中部固定焊接有样品导入法兰接口，所述真空室壳体的前侧左下部和右下部均焊接有磁过滤沉积法兰接口，所述真空室壳体的下端中部焊接有第二分子泵法兰接口，所述真空室壳体的后端中部焊接有加热管法兰接口，所述真空室壳体的左侧上部固定连接有自动观察窗，所述真空室壳体的左侧下部固定连接有抽真空管道连接法兰，所述磁过滤沉积法兰接口与磁过滤阴极弧法兰座相连，所述磁过滤阴极弧法兰座的内腔侧壁固定连接有磁过滤阴极，所述磁过滤阴极弧法兰座的下端固定连接有阳极筒，所述阳极筒的外侧上下侧套接有脉冲线包、和聚焦线包，所述阳极筒的下端通过法兰连接有磁过滤湾管，所述磁过滤湾管的外侧上部套接有过渡线包，所述磁过滤湾管的外侧中部和下部套接有高脉冲线包，所述金属离子注入法兰接口通过连接法兰连接离子发生装置，所述离子发生装置包括离子注入阴极靶、辅助阳极板、引出电极和加速电极和聚焦电极。

优选的，所述离子注入阴极靶通过导线和第一电源串联，所述辅助阳极板和第二电源以及电阻串联，所述第二电源和电阻并联，所述电阻与加速电极和聚焦电极相连。

优选的，所述第一分子泵法兰接口和第二分子泵法兰接口上下对应设置，所述第一分子泵法兰接口和第二分子泵法兰接口通过管道连接分子泵。

优选的，所述加热管法兰接口通过管道连接供热设备，供热设备为气源加热设备。

优选的，所述第一分子泵法兰接口、金属离子注入法兰接口、样品导入法兰接口、磁过滤沉积法兰接口、第二分子泵法兰接口、加热管法兰接口和抽真空管道连接法兰均通过管道与真空室壳体相连通，且各个所述管道上均设有开关阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该紧凑高效异型件超厚膜层设备，通过设备的整体结构，整个沉积过程温度低，对基底几乎没有影响。制备高质量混合层以及过渡层，使涂层与基底结合良好。在靶上加脉冲偏压，使到达基材的离子能量为混合状态的多能量离子束，这样有效降低类金刚石膜的内应力，提高整体涂层质量。结合陶瓷膜层以及类金刚石膜层的各自独有的特性，制备具有高硬度、耐磨损，低摩擦系数、高结合力等特点的涂层，应用前景广泛。