[实用新型]一种新型真空光学玻璃镀膜设备

权利要求书

1.一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：

包括真空箱(100)，所述真空箱(100)外部设有真空泵(200)，所述真空泵(200)通过管道与所述真空箱(100)内腔相连通，所述真空箱(100)内固定安装有真空计(300)，所述真空箱(100)内设有蒸发机构(400)、夹持机构(500)，所述蒸发机构(400)包括两个电极(410)以及与两个所述电极(410)相连接的用于固定并蒸发蒸料的加热丝(420)，所述真空箱(100)底部安装有导轨(600)，所述导轨(600)上滑动安装有滑座(610)，所述真空箱(100)外部固定安装有用于驱动所述滑座(610)沿所述导轨(600)长度方向滑动的驱动电机，两个所述电极(410)均固定安装于所述滑座(610)上，两个所述电极(410)均通过导线与外部电源导电连接；

所述夹持机构(500)包括气缸(510)、安装基板(520)，所述气缸(510)固定于所述真空箱(100)顶部，所述气缸(510)的伸缩杆(511)竖直向下延伸，所述安装基板(520)固定于所述伸缩杆(511)底端，所述安装基板(520)底部两侧均设有多个开口朝下的安装槽(521)，同一侧的所述安装槽(521)沿所述导轨(600)的长度方向分布于所述安装基板(520)底部，不同两侧的所述安装槽(521)成对设置，各个所述安装槽(521)内均固定安装有伸缩套(530)，各个所述伸缩套(530)一端固定于所述安装槽(521)底部、且各个所述伸缩套(530)另一端固定安装有夹板(540)，各个所述夹板(540)顶部均抵合于所述安装基板(520)底部，各个所述伸缩套(530)上均套设有弹簧(550)，所述弹簧(550)一端固定于所述安装槽(521)底部、且另一端固定于所述夹板(540)顶部。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：

所述真空箱(100)侧壁设有可拆卸的密封门(110)。

3.根据权利要求1所述的一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：

所述安装基板(520)底部和所述夹板(540)顶部均固定设有防护垫(700)。

4.根据权利要求1所述的一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：

所述弹簧(550)的原长度小于所述安装槽(521)的深度。

5.根据权利要求1所述的一种新型真空光学玻璃镀膜设备，其特征在于：

所述真空箱(100)设有与外部相连通的惰性气体通管(800)，所述惰性气体通管(800)上设有阀门(810)。