[实用新型]一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置

说明书

本实用新型提供了一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置，该双路脉冲触发装置包括主控模块，外触输入模块、使能输入模块、两路信号切换控制模块、两路电脉冲信号处理模块和两路光脉冲信号处理模块；主控模块实现双路脉冲触发装置的多种不同脉冲信号输出模式切换，光脉冲信号和电脉冲信号输出的切换和两路脉冲的脉冲参数的配置，以此实现准分子激光器的双路脉冲的准确同步，同时使得准分子激光器基于不同的用途时候可以自由切换脉冲输出模式和激光脉冲输出形式，增加了准分子激光器的适用范围，保证了准分子激光器的双腔同步的精准性。

技术领域

本实用新型涉及准分子激光器领域，一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置。

背景技术

193nmArF准分子激光器是一种面向深紫外光刻应用的脉冲式气体激光器，具有高重频，大能量，短波长，窄线宽的特点，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。准分子激光器发出的激光是以脉冲形式发出的，其每个激光脉冲都是由激光器的高压放电装置电击放电腔中的工作气体得到的。对于双腔激光器，两个腔体触发放电的延迟时间是需要调节的，这就需要协调控制两路脉冲触发。同时，不同的腔体和高压模块对于触发放电的脉冲的持续时间是不一样的，这就需要脉冲的持续时间可调。而且有些高压放电模块对于触发脉冲有着严苛的要求，即要求其输出功率又要求ns级的上升时间。另外准分子激光器的不同用途需要的脉冲模式也不一样，因此需要一个双通道多参数可调多模式可配置的激光脉冲触发装置去控制高压放电模块，发出脉冲的时间，脉冲触发的频率，脉冲触发的模式等问题。

鉴于此，克服以上现有技术中的缺陷，提供一种用于准分子激光器的双路脉冲触发的装置和方法成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置，使得准分子激光器基于不同的用途时候可以自由切换脉冲输出模式和脉冲输出形式，增加了准分子激光器的适用范围，保证了准分子激光器的双腔同步的精准性。

本实用新型的目的可通过以下的技术措施来实现：

本实用新型提供了一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置，所述双路脉冲触发装置包括：与工控机相连的主控模块，与所述主控模块相连的外触输入模块、使能输入模块、第一信号切换控制模块和第二信号切换控制模块，与所述第一信号切换控制模块相连的第一电脉冲信号处理模块和第一光脉冲信号处理模块，与所述第二信号切换控制模块相连的第二电脉冲信号处理模块和第二光脉冲信号处理模块；

所述主控模块用于响应工控机的控制信号，同时产生第一原始脉冲信号、第二原始脉冲信号、第一控制选择信号和第二控制选择信号；

所述外触输入模块用于在外触发模式下接收外触信号以产生触发信号，所述使能输入模块用于外触发模式下判定所述外触信号为高电平时输出触发信号；

所述第一信号切换控制模块用于根据所述第一控制选择信号将所述第一原始脉冲信号选择传输至第一电脉冲信号处理模块或者第一光脉冲信号处理模块，所述第一电脉冲信号处理模块用于将所述第一原始脉冲信号进行功率放大和波形整定、并输出电脉冲信号，所述第一光脉冲信号处理模块用于将所述第一原始脉冲信号转换并输出能在光纤中传输的激光脉冲信号；

所述第二信号切换控制模块用于根据所述第二控制选择信号将所述第二原始脉冲信号选择传输至第二电脉冲信号处理模块或者第二光脉冲信号处理模块，所述第二电脉冲信号处理模块用于将所述第二原始脉冲信号进行功率放大和波形整定、并输出电脉冲信号，所述第二光脉冲信号处理模块用于将所述第二原始脉冲信号转换并输出能在光纤中传输的激光脉冲信号。

进一步的，所述主控模块包括FPGA和ARM组合芯片，所述FPGA用于处理数据，产生原始脉冲信号、输入外触信号和使能信号，所述ARM用于控制脉冲信号输出模式、配置脉冲参数以及配置双路脉冲间的延迟时间差。