[实用新型]一种平面靶材有效
| 申请号： | 201920408498.3 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209741263U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 沈登涛;张佳衲;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信元光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 廖苑滨<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 516600 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 凸起部 本实用新型 平面靶材 平坦部 上表面 平齐 消耗 坦部 生产成本 匹配 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面靶材，其特征在于，包括背板和绑定于所述背板上的靶材组；所述背板设有位于中部的凸起部和两侧的平坦部，所述靶材组包括设于所述凸起部的第一子靶材和设于所述平坦部上的第二子靶材；所述第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐。
2.根据权利要求1所述的平面靶材，其特征在于，所述凸起部的上表面超出所述平坦部的上表面至少3mm。
3.根据权利要求1所述的平面靶材，其特征在于，所述第一子靶材的数量大于或等于一。
4.根据权利要求3所述的平面靶材，其特征在于，所述第二子靶材的数量至少为二。
5.根据权利要求4所述的平面靶材，其特征在于，两个所述第二子靶材分别设于所述第一子靶材的两侧。
6.根据权利要求1所述的平面靶材，其特征在于，所述第二子靶材的初始厚度大于或等于8mm。
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