[实用新型]一种自适应调节进气转接结构有效
申请号: | 201920409595.4 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN209854244U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 张军委 | 申请(专利权)人: | 爱发科真空技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 11275 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘宪池 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气动模块 台阶孔 密封圈 腔体门 压板 密封 本实用新型 气体管路 腔体本体 小圆孔 板孔 腔体 进气口 化学气相沉积设备 成膜均匀性 自适应调节 密封效果 密封压板 内部密封 配合设置 转接结构 大圆孔 漏气 弹簧 进气 连通 压制 相通 体内 封闭 冲突 保证 | ||
1.一种自适应调节进气转接结构,其特征在于,包括:
台阶孔,所述台阶孔开设在腔体门上;所述台阶孔包括通向所述腔体门外侧的大孔和通向所述腔体门内侧的小孔,所述大孔的内径大于所述小孔的内径,所述大孔与所述小孔之间形成内环形面;
进气动模块,所述进气动模块配合设置在所述台阶孔内,所述进气动模块包括与所述大孔相配合的大圆柱部、以及与所述小孔相配合的小圆柱部,所述大圆柱部与所述小圆柱部之间形成外环形面;所述进气动模块上大圆柱部所在的端部开有大圆孔,所述进气动模块上小圆柱部所在的端部开有小圆孔,所述小圆孔的内径小于所述大圆孔的内径,所述小圆孔与所述大圆孔相通;
压板,所述压板固定在所述腔体门的外侧壁上,所述压板封闭所述台阶孔;所述压板上设有与所述台阶孔相通的板孔、以及与所述腔体门上的布气机构相连的气体管路,所述气体管路通过所述板孔与所述台阶孔相通;
弹簧,所述弹簧被所述压板压制在所述进气动模块上;在所述弹簧的作用下,所述外环形面抵在所述内环形面上,所述进气动模块上小圆柱部的端部凸出于所述腔体门;
进气口,所述进气口设置在腔体本体上,所述进气口的一端通向所述腔体本体的外部,所述进气口的另一端与所述小圆孔相对;当腔体门关闭后,所述进气口与所述小圆孔连通;
第一密封圈,所述第一密封圈密封所述压板与所述腔体门;
第二密封圈,所述第二密封圈密封所述进气动模块与所述腔体门;
第三密封圈,所述第三密封圈在腔体门关闭后、密封所述进气动模块与所述腔体本体。
2.根据权利要求1所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述腔体门的内侧壁上或所述腔体本体的外侧壁上具有在腔体门关闭时、用于密封腔体门与腔体本体之间间隙的第四密封圈;所述台阶孔对应位于所述第四密封圈内。
3.根据权利要求1所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述弹簧的一端抵在所述大圆孔的底部,所述弹簧的另一端抵在所述压板上。
4.根据权利要求3所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述弹簧的外径与所述大圆孔的内径相配合。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述小圆孔的轴线、所述大圆孔的轴线均与所述进气动模块的轴线重合。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述进气口位于所述腔体本体上铰链所在侧的另一侧;所述进气口具体可设置在所述腔体本体的法兰上。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述第一密封圈的一侧嵌压在所述压板上,所述第一密封圈的另一侧凸出于所述压板、抵在所述腔体门上。
8.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述第二密封圈固定套设在所述大圆柱部上,所述第二密封圈的外圈凸出于所述大圆柱部的外侧壁、抵在所述大孔上。
9.根据权利要求8所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述第二密封圈有两个。
10.根据权利要求1或2或3或4所述的一种自适应调节进气转接结构,其特征在于:所述第三密封圈的一侧嵌压在所述小圆柱部的端面上,所述第三密封圈的另一侧凸出于所述小圆柱部的端面,所述第三密封圈可在所述腔体门关闭时、抵在所述腔体本体上。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的