[实用新型]多晶还原炉生产用高纯石墨夹头

说明书

本实用新型涉及石墨夹头技术领域，且公开了一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头，包括支撑体，所述支撑体的顶部开设有插孔，所述插孔的内部活动安装有一端贯穿并延伸至支撑体底部的套杆，所述套杆的顶部固定安装有基座。该多晶还原炉生产用高纯石墨夹头，通过条形孔将卡瓣分成多块，将硅芯棒插入卡瓣顶部的通孔内并且进入套杆的内部，再通过收束环套在卡瓣外侧，从而固定住硅芯棒，再通过卡瓣底部的基座与固定盖顶部的螺纹孔螺纹连接，将卡瓣与固定盖固定，再通过固定盖的内侧和支撑体外侧的螺纹连接块相互螺纹连接，将固定盖与支撑体固定，使卡瓣、固定盖和支撑体形成一个整体，且结构稳定不易松动，达到了固定稳定的目的。

技术领域

本实用新型涉及石墨夹头技术领域，具体为一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头。

背景技术

多晶硅是生产太阳能光伏电池和半导体晶圆的基本原料，目前主流的生产工艺是改良西门子法，通过化学气相沉积法在高温真空炉中还原三氯氢硅，最后得到高纯度的原料多晶硅，沉积过程中需要将硅芯用夹具固定，在高温情况下，石墨的硬度极高，且导电性强，因此常常使用到石墨夹头对硅芯进行固定。

目前市场上的石墨夹头多种多样，但是普遍存在固定不稳的问题，普通的石墨夹头一般直接将硅芯插入石墨夹头上的孔内进行固定，并且没有其他辅助固定结构，这样需要硅芯与孔的直径完全适配，如果硅芯直径偏小则会出现固定不稳的情况，且硅芯与石墨夹头直接接触导致沉积过程中连为一体，所以每使用一次石墨夹头都会将其敲碎取出硅晶，导致成本较高，故而提出一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头，具备固定稳定等优点，解决了普通的石墨夹头一般直接将硅芯插入石墨夹头上的孔内进行固定，并且没有其他辅助固定结构，这样需要硅芯与孔的直径完全适配，如果硅芯直径偏小则会出现固定不稳的情况，且硅芯与石墨夹头直接接触导致沉积过程中连为一体，所以每使用一次石墨夹头都会将其敲碎取出硅晶，导致成本较高的问题。

(二)技术方案

为实现上述固定稳定目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头，包括支撑体，所述支撑体的顶部开设有插孔，所述插孔的内部活动安装有一端贯穿并延伸至支撑体底部的套杆，所述套杆的顶部固定安装有基座，所述基座的顶部固定安装有卡瓣，所述卡瓣的顶部开设有一端贯穿并延伸至基座底部的通孔，所述通孔的内部活动安装有位于套杆内部的硅芯棒，所述卡瓣的外侧开设有位于基座外侧的条形孔，所述卡瓣的外侧活动安装有收束环，所述基座的外侧螺纹连接有固定盖，所述固定盖的顶部且位于基座的外侧开设有螺纹孔，所述固定盖的内侧和支撑体的外侧均固定安装有螺纹连接块，所述支撑体的底部固定安装有电极连接块，所述电极连接块的顶部开设有位于套杆外侧的固定槽，所述电极连接块的底部固定安装有电极连接槽，所述电极连接槽的内部活动安装有电极接头。

优选的，所述支撑体和电极连接块均设置为圆柱体，所述固定盖设置为内部空心且底面缺失的圆柱体。

优选的，所述插孔的直径与套杆的直径相适配，所述套杆的长度大于支撑体的高度。

优选的，所述套杆设置为内部空心且顶面与底面均缺失的圆柱体，所述条形孔设置有六个，且六个所述条形孔均匀分布在卡瓣的外侧。

优选的，所述收束环设置为圆形环状立体结构，所述收束环的内径小于基座的外径。

优选的，所述支撑体、套杆、基座、卡瓣、固定盖和电极连接块均为高纯度石墨，所述固定槽的内径与套杆的外径相适配。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种多晶还原炉生产用高纯石墨夹头，具备以下有益效果：