[实用新型]测量光源以及用于检测样本的绝对反射光谱的测量装置有效
申请号: | 201920411033.3 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN210119290U | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 约尔格·马格拉夫 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司光谱学有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/10 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 杨靖;韩毅 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 光源 以及 用于 检测 样本 绝对 反射 光谱 装置 | ||
本实用新型涉及测量光源以及用于检测样本的绝对反射光谱的测量装置。用于产生具有均匀的空间照明强度分布的测量光的测量光源包括块状块体,在块体中构造有照明腔、光成形腔和光射出腔,它们分别构造为块体中的空腔并且具有漫反射的内部面。照明腔通入光成形腔中。光成形腔通入光射出腔中。用于产生光的至少一个光源至少部分地布置在照明腔中。光射出腔具有光射出口。根据本实用新型,照明腔的轴线和光射出腔的轴线彼此间隔开布置。光成形腔被构造成用于使光传播方向反转。此外,本实用新型还涉及一种用于检测样本的至少一个绝对反射光谱的测量装置。测量装置尤其被用于在生产过程中对表面进行光谱探查,以便例如确定表面的颜色或光泽。
技术领域
本实用新型涉及一种用于产生具有均匀的空间照明强度分布的测量光的测量光源。此外,本实用新型还涉及一种用于检测样本的至少一个绝对反射光谱的并优选也用于执行参考测量的测量装置。该测量装置尤其被用于在生产过程中对表面进行光谱探查,以便例如确定表面的颜色或光泽或层厚度。
背景技术
DE 10 2011 050 969 A1示出了一种用于参考式测量经反射的光的设备,该设备具有空心体,该空心体在其内部具有漫散射的层以及光射出开口。该设备能够从测量位置转换到校准位置,由此,使光射出开口从第一探测轴线被带引到第二探测轴线中。
由DE 10 2010 041 749 A1公知有一种测量装置,其具有沿纵向方向延伸的空腔,该空腔具有朝向样本的开口和许多沿纵向方向布置的开口。另外的开口被用于光的耦合入。
US 6,422,718 B1、DE 34 31 367 A1和DE 20 2008 012 222 U1以不同实施方式示出了测量光源。
DE 10 2013 219 830 A1教导了一种用于在漫射照明的情况下进行反射测量的光学设备,其包括空心体,该空心体在其内部具有对光散射的表面以及具有光射出开口。光射出开口具有非旋转对称的形状。
DE 10 2014 215 193 A1示出了一种用于检测样本的绝对反射光谱的测量装置。该测量装置包括光源和用于产生测量光的均匀的空间照明强度分布的均化器。测量装置还包括能运动的反射器和接收器。反射器与光源布置在样本的同一侧上。均化器优选由乌布利希球,由乌布利希管或由球柱体结构形成。在该测量装置中,在样本间距发生变化时或在发生样品歪斜时,乌布利希球导致了绝对测量的测量误差大于1%,这对很多应用来说都太高了。但在实验室条件之外,尤其是在生产过程中的在线测量的情况下,就无法避免样本间距变化和样品歪斜。
DE 10 2016 116 405 A1和EP 3 290 904 A2涉及一种用于产生具有均匀的空间照明强度分布的测量光的测量光源。测量光源包括具有漫反射的内部面的空心体。在空心体中构造有凹状的凹面镜形的照明腔、管状的光成形腔和凹状的凹面镜形的光射出腔,它们具有共同的轴线。用于产生光的光源至少部分地布置在照明腔中。该光源例如由至少一个卤素灯和/或至少一个LED形成。光射出腔具有光射出口。照明腔和光射出腔利用其凹面镜形状彼此对置,并且通过管状的光成形腔连接。在空心体中布置有漫反射的反射盘,该反射盘用于使由空心体的布置在光射出腔内的内部面反射的光穿过光射出口向空心体之外反射。EP 3 290 904 A2还示出了用于检测样本的绝对反射光谱的并用于执行参考测量的不同的测量装置。
实用新型内容
基于现有技术,本实用新型的任务在于:提供一种用于检测反射光谱的测量装置,尤其是一种适用于此的用于产生具有均匀的空间照明强度分布的测量光源,其明显比乌布利希球能更紧凑地实施。
所提出的任务通过如下测量光源以及通过如下用于检测样本的绝对反射光谱的测量装置来解决。
根据本实用新型的测量光源被用于产生具有均匀的空间照明强度分布的测量光。例如,利用根据本实用新型的测量光源可以实行对表面的光谱探查。
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