[实用新型]一种匀胶机样品托盘有效
申请号: | 201920412160.5 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN209849212U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 翟浩;王岩;罗帅;季海铭 | 申请(专利权)人: | 江苏华兴激光科技有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02 |
代理公司: | 42228 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 邓寅杰 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 中空柱体 承片台 本实用新型 真空吸孔 腔体 半导体技术领域 圆柱形凸起 固定凹槽 腔体顶部 碎片形式 向下贯穿 样品托盘 固定的 匀胶机 空腔 吸附 匀胶 兼容 | ||
1.一种匀胶机样品托盘,其特征在于:其包括上部的托盘腔体和下部的中空柱体,所述托盘腔体顶部中央位置设有圆柱形凸起结构的承片台,所述承片台用于放置待匀胶基片,承片台中心位置设有真空吸孔,所述真空吸孔向下贯穿托盘腔体,并与中空柱体的空腔部分相连通;所述中空柱体下部柱面上设有用于固定的固定凹槽。
2.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述承片台还设有直线型吸槽和环形吸槽。
3.根据权利要求2所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述直线型吸槽有两个,在所述真空吸孔处呈十字形相交;所述环形吸槽以真空吸孔处为圆心,环绕直线型吸槽并与直线型吸槽的端点相交。
4.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述承片台的直径为12~16mm,凸起高度为6~8mm。
5.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述真空吸孔的直径为1.5~2.5mm。
6.根据权利要求2所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述直线型吸槽和环形吸槽的宽度均为0.8~1.2mm,直线型吸槽的长度为10~12mm,环形吸槽的外缘直径与直线型吸槽的长度相等。
7.根据权利要求2所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述直线型吸槽和环形吸槽的深度均为0.4~0.6mm。
8.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述固定凹槽的截面形状由下至上分别为等腰梯形、矩形、半圆形结构。
9.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述中空柱体的空腔部分为圆柱形。
10.根据权利要求1所述的匀胶机样品托盘,其特征在于:所述中空柱体分为上下两段,下段的直径小于上段的直径。
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