[实用新型]一种滤芯清理装置

说明书

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种滤芯清理装置，滤芯清理装置包括回收腔体以及设置于回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，转轴组件用于装载滤芯，锤击组件设置于转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，温控组件用于对回收腔体内部加热和冷却。本实用新型的结构操作简单，成本较低，可大规模使用，回收腔室内可安装多个滤芯，回收的附着物可根据来源不同做好标记，回收物杂质较少，提纯简单，提纯后可以再次利用，减少原料的浪费，减少填埋造成的环境污染，具有较高的经济效益和社会效益。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种滤芯清理装置。

背景技术

镀膜是半导体领域的最重要的工艺，采用特种气体在MOCVD设备或者PECVD设备等反应形成特殊需求的半导体膜层或者PN结等。随着半导体产业的发展，特种气体需求量越来越大，特别是砷烷、磷烷、硅烷、乙硅烷等等，这些气体在半导体生产方面起着至关重要的作用，但是这些特殊气体在生产时，利用率一般并不高，比如说砷烷一般利用率为7％～15％，磷烷一般利用率不超过20％等等，大部分工艺气体及反应物等都进入尾气处理系统。

这些特种气体及其反应物的尾气处理，一般采用冷阱过滤、高温分解或反应等处理；冷阱含有两级滤芯，吸附反应物及大分子颗粒，然后剩余气体进行高温分解或化学反应吸附，再经过多级过滤和稀释，使尾气达到排放要求。

尾气处理滤芯需要高频率定期更换，目前还没有滤芯附着物的回收方法，固体滤芯一般采用填埋处理，但是滤芯上吸附大量的反应物如砷化镓、单质砷、砷化铝、铝铟磷等颗粒，这些颗粒本身都是合成特种气体绝佳反应原料，填埋既造成大量的原料浪费，又对环境有一定的破坏作用。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是现有的尾气处理滤芯的附着物无法回收，填埋滤芯容易造成原料浪费和环境污染的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种滤芯清理装置，包括回收腔体以及设置于所述回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，所述转轴组件用于装载滤芯，所述锤击组件设置于所述转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，所述温控组件用于对所述回收腔体内部加热和冷却。

其中，所述转轴组件包括驱动轴、偏心轴和从动轴，所述驱动轴一端穿出所述回收腔体，另一端通过联轴器与所述偏心轴一端连接，所述偏心轴的另一端通过联轴器与所述从动轴的一端连接，所述从动轴另一端与所述回收腔体连接。

其中，所述温控组件包括速冷管，所述速冷管沿所述转轴组件的轴向依次贯穿所述驱动轴、所述偏心轴和所述从动轴，所述速冷管的管壁上设有多个通孔，以供所述速冷管内的冷却气喷出。

其中，所述转轴组件的下方设有沉积板。

其中，所述温控组件还包括冷却板，所述冷却板与所述沉积板的底面连接，所述冷却板内置冷却液管路。

其中，还包括抽气组件，所述抽气组件包括抽气杆和抽气泵，所述回收腔体的底壁设有抽气孔，所述抽气杆自上而下依次穿过所述沉积板、所述冷却板和所述抽气孔，并与所述抽气泵连接。

其中，所述抽气杆的上端设有伞状的护罩。

其中，所述锤击组件包括摆锤和摆杆，所述摆杆的上端与所述回收腔体的顶部铰接，所述摆杆的下端与所述摆锤连接。

其中，所述温控组件还包括加热件，所述加热件设置于所述回收腔体的侧壁上。

(三)有益效果