[实用新型]一种硅片清洗机快速烘干冷却装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，清洗花篮通过第一传送带（1）进入该快速烘干冷却装置（8），清洗花篮经过快速烘干冷却装置（8）后进入下料台（9），其特征在于：该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道，其底部有两条衔接的第二传送带（6）和第三传送带（10）构成，该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板，该快速烘干冷却装置出口侧敞口，该快速烘干冷却装置进口侧安装有自动门和激光感应装置（3），第二传送带（6）和第三传送带（10）构成为链带传动，第二传送带（6）的链带中央安装有加热装置（7），第三传送带（10）的链带中央安装有冷风机（11）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：第二传送带（6）的链带有两个链轮（12），第三传送带（10）的链带有四个链轮（12）。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：第三传送带（10）的四个链轮（12）构成一个矩形，冷风机（11）的出风口对准该快速烘干冷却装置（8）的进口方向的链带。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机快速烘干冷却装置，其特征在于：自动门由电动机（13）、一端与转轴固定焊接的挡板（2）、与电动机（13）输出值固定连接的转轴（4）组成。