[实用新型]电镀金刚石线锯耐磨性的检测系统

说明书

本实用新型涉及一种用于检测金刚石线锯产品的耐磨性的检测系统。其包括磨损装置和检测装置。上述电镀金刚石线锯耐磨性的检测系统，首先将待测样品装在磨损装置上，经过磨损装置的摩擦之后，待测样品的表面具有一定的磨损。之后将磨损后的待测样品置于检测装置的样品架上，检测装置用于检测待测样品的外径、出刃高度、出刃率和堆积直径等。使用上述检测系统能够提高电镀金刚石线锯的良品率和硅片的切割质量。

技术领域

本实用新型涉及电镀金刚石线锯检测技术领域，特别是涉及一种电镀金刚石线锯耐磨性的检测系统。

背景技术

硅材料作为半导体及太阳能电池的主要原材料，晶片切割是制约后续成品的重要工序。固结磨料线锯尤其是电镀金刚石线锯的出现以效率高，成本低，低TTV(totalthickness variation，硅片厚度变化量)，无污染等诸多优势迅速替代了传统砂浆切割。电镀金刚石线锯是通过电镀将镀液中金属离子还原，在母线上沉积形成镀层的同时，使预先添加在镀液里的金刚石磨料微粒被包覆进镀层而制成的线性锯切割工具。

由于电镀金刚石线锯表面为镍钨等合金镀层包覆金刚石的复合相，锯切时材料的去除主要是锯丝中磨粒的切削作用导致材料脆性断裂的结果。若金刚石磨粒因把持力不够脱落或磨粒本身耐磨性不够，会导致线锯断线及硅片表面异常等。然而，目前未有成熟的仪器及国家标准对电镀金刚石线锯产品的耐磨性进行检测和评价。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前未有成熟的仪器及国家标准对电镀金刚石线锯产品的耐磨性进行检测和评价的问题，提供一种用于检测金刚石线锯产品的耐磨性的检测系统。

第一底座；

第一样品夹持组件，固定于所述第一底座的一端；

第二样品夹持组件，固定于所述第一底座的另一端，用以与所述第一样品夹持组件共同固定电镀金刚石线锯样品；

导轨，固定于所述第一底座上，所述导轨在所述第一样品夹持组件至所述二样品夹持组件之间延伸；

磨损组件，可相对移动地安装于所述导轨上；以及

电机，用以驱动所述磨损组件沿所述导轨移动；

其中，所述检测装置包括：

第二底座；

下光源承载台，固定于所述第二底座上；

下光源，固定于所述下光源承载台上；

升降杆，包括相对的第一端和第二端，所述第一端固定于所述第二底座上，所述升降杆位于所述下光源承载台的一侧；

样品架，用于放置被所述磨损装置磨损后的电镀金刚石线锯样品；

载物台，用于承载样品架，所述载物台活动连接于所述升降杆上；

载物台定位旋钮，用于调整样品在平行于所述载物台表面的平面上的位置，所述载物台定位旋钮位于所述载物台的一侧；

镜头，安装于所述升降杆的第二端；

上光源，位于所述镜头靠近所述载物台的一端，所述上光源与所述下光源分别位于所述载物台的两侧；

亮度旋钮，用于调节所述下光源与所述上光源的亮度，所述亮度旋钮位于所述下光源承载台上；以及

焦距旋钮，用于调节所述镜头的高度。

上述电镀金刚石线锯耐磨性的检测系统，首先将待测样品装在磨损装置上，经过磨损装置的摩擦之后，待测样品的表面具有一定的磨损。之后将磨损后的待测样品置于检测装置的样品架上，检测装置用于检测待测样品的外径、出刃高度、出刃率和堆积直径等。使用上述检测系统能够提高电镀金刚石线锯的良品率和硅片的切割质量。