[实用新型]晶圆寻边装置及晶圆刻蚀设备

权利要求书

1.一种晶圆寻边装置，其特征在于，包括：

旋转台，用于放置晶圆，并用于驱动放置于所述旋转台的晶圆绕一竖直轴旋转，使晶圆表面设置的定位部在竖直方向上对准预设的定位点；

刷头，安装至所述旋转台一侧，朝向所述旋转台的上表面设置，用于刷洗放置至所述旋转台的晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆寻边装置，其特征在于，所述刷头包括正面刷以及背面刷中的至少一个，其中：

所述正面刷的刷毛竖直向下设置，用于刷洗所述晶圆的正面；

所述背面刷的刷毛竖直向上设置，用于刷洗所述晶圆的背面。

3.根据权利要求2所述的晶圆寻边装置，其特征在于，所述刷头还包括：

侧面刷，刷毛设置在水平方向上，用于刷洗边的晶圆的侧面。

4.根据权利要求1所述的晶圆寻边装置，其特征在于，还包括检测单元，设置于所述旋转台一侧，用于检测所述晶圆的寻边操作是否完成。

5.根据权利要求4所述的晶圆寻边装置，其特征在于，所述检测单元包括：出光器，用于出射光信号；

收光器，朝向所述出光器设置，用于接收所述出光器出射的光信号；

所述出光器和收光器分别设置于所述晶圆放置位的上下两侧，且所述出光器出射光的光轴在竖直方向上，并过所述定位点。

6.根据权利要求5所述的晶圆寻边装置，其特征在于，所述出光器包括超辐射发光二极管，所述收光器包括电子耦合器件，且所述超辐射发光二极管和所述电子耦合器件的连线过所述定位点。

7.根据权利要求5所述的晶圆寻边装置，其特征在于，还包括：

控制单元，连接至所述出光器、收光器和旋转台，用于控制所述旋转台的旋转，以及所述出光器的出光、收光器的收光。

8.根据权利要求7所述的晶圆寻边装置，其特征在于，所述控制单元对所述出光器、收光器和旋转台的控制包括：

控制所述出光器持续出光；

控制所述收光器持续收光；

控制所述旋转台在所述收光器接收到光信号时停止旋转。

9.根据权利要求1所述的晶圆寻边装置，其特征在于，还包括一升降台，连接至所述刷头，用于控制所述刷头在竖直方向上运动，使所述刷头与晶圆接触，或脱离与晶圆的接触。

10.一种晶圆刻蚀设备，其特征在于，包括一晶圆寻边装置，用于对待刻蚀的晶圆进行寻边操作，所述晶圆寻边装置包括：

旋转台，用于放置晶圆，并用于驱动放置于所述旋转台的晶圆绕一竖直轴旋转，使晶圆的定位部在竖直方向上对准预设的定位点；

刷头，安装至所述旋转台一侧，朝向所述旋转台的上表面设置，用于刷洗放置至所述旋转台的晶圆。