[实用新型]一种平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置有效
| 申请号： | 201920424729.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209785873U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张威;陈特超;陈国钦;唐电;苏卫中;李建志 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01Q1/22;H01Q1/12;C23C16/511 |
| 代理公司： | 43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 天线 连接棒 本实用新型 球形凸部 弹性结构 紧密贴合 紧密耦合 天线两端 微波功率 微波天线 分隔槽 平板式 自适应 拆装 内壁 爪式 衰减 分设 | ||
【权利要求书】：
1.一种平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置，包括天线(1)及两根分设于天线(1)两端的连接棒(2)，所述连接棒(2)一端插入所述天线(1)内，其特征在于：所述连接棒(2)插入所述天线(1)内的一端设有球形凸部(22)及至少一条分隔槽(21)，所述球形凸部(22)与所述天线(1)的内壁紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置，其特征在于：所述连接棒(2)插入所述天线(1)内的一端为锥体形状。
3.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置，其特征在于：所述连接棒(2)上设有限位部(23)，所述限位部(23)与所述天线(1)的端部抵靠。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置，其特征在于：所述天线(1)为锡青铜天线或紫铜天线，所述连接棒(2)为锡青铜棒或紫铜棒。
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