[实用新型]一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置

说明书

本实用新型涉及微通道降温技术领域，具体涉及一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置，包括下底板、通道板、中间板、散热板和上盖板，下底板设有进液孔，通道板设有与进液孔对应的进液腔，进液腔远离进液孔的一端设有微通道，中间板设有与微通道对应的通液槽，散热板设有与通液槽连通的液汽相变腔，从通液槽进入液汽相变腔的液体能被上盖板的高温区域汽化，形成汽雾。本实用新型通过使用封闭式的微通道相变冷却方式，使得半导体激光器能够很好的降温，实现很好的降温效果，具有降温效率高和降温效果好，结构紧凑等优点，进入进液孔的液体都能通过通液槽进入液汽相变腔，进入液汽相变腔的液体能带走大量的热量，大大提高了液体降温的效率。

技术领域

本实用新型涉及微通道降温技术领域，具体而言，涉及一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置。

背景技术

激光加工是激光系统最常用的应用，其中，激光热加工是最常见的应用形式。具体来说，激光热加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程，包括激光焊接、激光切割、表面改性、激光镭射打标、激光钻孔和微加工等。激光热加工的系统中，半导体激光器是核心部件，用去产生高强度的激光束。

近年来，随着使用者需求的提高以及研究的深入，大功率半导体激光器的性能得到了快速的提升。但是，随着大功率半导体激光器功率的增大，器件产生的热量也越来越大。半导体激光器温度急剧上升后，会使得输出波长发生变化，光电转化效率降低，输出功率减小，影响加工效率和加工精度。

传统的散热方式包括半导体制冷、热管传热、喷雾冷却，这些散热方式能满足激光器温度控制，但是散热能力有限，无法满足大功率激光器的散热需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置，以解决现有技术中传统散热方式无法满足大功率激光器散热需求的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置，包括由下至上依次叠放设置且外形及尺寸一致的下底板、通道板、中间板、散热板和上盖板，所述下底板上设有进液孔，所述通道板上设有与所述进液孔对应的进液腔，所述进液腔远离所述进液孔的一端均匀设有微通道，所述中间板上设有与所述微通道对应的通液槽，所述散热板上设有与所述通液槽连通的液汽相变腔，从所述通液槽进入所述液汽相变腔的液体能够被所述上盖板上的高温区域汽化，形成汽雾，

沿着所述散热板的长度方向，所述散热板上远离所述液汽相变腔的一端设有出汽孔，所述散热板的两侧设有用于连通所述液汽相变腔和所述出汽孔的导汽槽，所述下底板、所述通道板和所述中间板上与所述出气孔相对应的位置分别设有第一出汽孔、第二出汽孔和第三出汽孔。

可选地，所述散热板上靠近所述液汽相变腔的区域设有与所述液汽相变腔相隔离的热交换腔，所述上盖板上与所述热交换腔相对应的位置设有通气孔，所述液汽相变腔内的热量能够通过所述散热板的热传导传递到所述热交换腔内，通过所述热交换腔和所述通气孔将所述液汽相变腔内的部分热量散发出去。

可选地，所述出汽孔中设有用于将两侧的所述导汽槽隔开的隔板。

可选地，所述下底板、所述通道板、所述中间板、所述散热板和所述上盖板的中部对应设有第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔、第四安装孔和第五安装孔。

如上，应用本实用新型的技术方案，本实用新型提供的一种适用光学系统的组合式微通道蒸发散热装置通过使用封闭式的微通道相变冷却方式，使得上盖板上的半导体激光器能够很好的降温，实现很好的降温效果，具有冷却效率高和冷却效果好，结构紧凑的优点。同时，进入进液孔的液体都能够通过通液槽进入液汽相变腔，使得进入液汽相变腔的液体都能带走大量的热量，大大的提高了液体降温的效率。

为让本实用新型的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例并结合附图详细说明。

附图说明