[实用新型]一种平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置有效

申请号：	201920427283.6	申请日：	2019-03-29
公开（公告）号：	CN210012901U	公开（公告）日：	2020-02-04
发明（设计）人：	陈国钦;张威;杨彬;唐电;吴易龙;李建志	申请（专利权）人：	中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号：	C23C16/513	分类号：	C23C16/513;C23C16/455
代理公司：	43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)	代理人：	周长清;徐好
地址：	410111 湖南***	国省代码：	湖南;43
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摘要：
搜索关键词：	喷气孔送气管本实用新型工艺气体喷气装置离子源等间距布置微波离子源等距分布线性状态喷气管平板式叠加
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【权利要求书】：

1.一种平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置，包括多个沿Y轴方向布置的离子源(3)，所述离子源(3)中包含多根送气管(1)，所述送气管(1)上沿X轴方向设有多个喷气孔(2)，其特征在于：所有离子源(3)中输送相同工艺气体的喷气孔(2)的X轴坐标各不相同且叠加后成等间距布置。

2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置，其特征在于：各所述喷气孔(2)均为圆孔。

3.根据权利要求1或2所述的平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置，其特征在于：所述离子源(3)中包括一根第一送气管(11)和两根第二送气管(12)，第一送气管(11)和第二送气管(12)输送的工艺气体不同，两根第二送气管(12)输送的工艺气体相同且分设于第一送气管(11)的两侧。

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