[实用新型]准分子激光器剂量稳定控制系统有效
| 申请号： | 201920428832.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209860345U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 冯泽斌;韩晓泉;江锐;周翊;赵江山;张华;张琴;王香;廖密;杨军红 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;H01S3/134 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光脉冲 高压放电 能量稳定 预设 激光参数测量 本实用新型 触发信号 工作气体 控制器 激光脉冲输出 稳定控制系统 准分子激光器 控制器控制 放电高压 检测激光 接收脉冲 控制系统 脉冲高压 脉冲激光 组件电性 组件检测 激光器 偏移 脉冲 超调 相等 采集 外部 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子激光器剂量稳定控制系统，其特征在于，其包括：
高压放电组件，其用于接收来自外部的触发信号，并根据所述触发信号及预设高压设定值，产生脉冲高压；
激光器，其内充有工作气体，所述工作气体用于接收所述脉冲高压，并产生激光脉冲；
激光参数测量组件，其用于检测所述激光脉冲的能量值，并将所述激光脉冲输出至外部；
能量稳定控制器，其与所述高压放电组件电性连接，所述能量稳定控制器用于采集所述激光脉冲的能量值；当所述能量值大于预设能量值时，所述能量稳定控制器根据预设控制算法控制所述高压放电组件降低放电电压，当所述能量值小于所述预设能量值时，所述能量稳定控制器根据所述预设控制算法控制所述高压放电组件提高所述放电电压。
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