[实用新型]一种观察样品断口的扫描电镜用样品台有效

专利信息
申请号: 201920434354.5 申请日: 2019-04-02
公开(公告)号: CN209447760U 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 陈永;刘胜新;王靖博;连明洋 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/26
代理公司: 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 代理人: 董晓勇
地址: 450000 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 样品台 扫描电镜 断口 紧固螺钉 凹槽侧面 成像模糊 导电胶带 导电胶水 扫描成像 样品脱落 样品稳定 有效解决 圆形磁铁 直接放置 螺纹孔 观察 内嵌 圆台 清晰
【权利要求书】:

1.一种观察样品断口的扫描电镜用样品台,包括圆台(1),其特征在于,圆台(1)上表面设有第一凹槽(3)、第二凹槽(4)、第三凹槽(5),所述第一凹槽(3)、第二凹槽(4)及第三凹槽(5)内均嵌有圆形磁铁(7),圆台(1)通过紧固螺钉(2)与周围的螺纹孔(6)相配合固定安装。

2.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的圆台(1)外围的螺纹孔(6)共有6个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称均匀分布。

3.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的紧固螺钉(2)为全螺纹螺杆式,外端头开有一字凹槽,紧固螺钉(2)共有6个,配合圆台(1)上的螺纹孔(6)使用。

4.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第一凹槽(3)截面呈圆形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第一凹槽(3)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

5.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第二凹槽(4)截面呈正方形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第二凹槽(4)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

6.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第三凹槽(5)截面呈长方形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第三凹槽(5)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

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