[实用新型]惯性传感器

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，包括：

衬底；

第一可动质量块，位于所述衬底上方；

第二可动质量块，位于所述第一可动质量块上方；以及

设置于所述第一可动质量块上的检测电极，所述检测电极与所述第二可动质量块形成检测电容。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括：

第一锚点，所述第一可动质量块与所述第一锚点连接；以及

第二锚点，所述第二可动质量块与所述第二锚点连接。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，还包括位于所述衬底上的布线层，所述第一锚点和所述第二锚点固定于所述布线层上。

4.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，还包括沿第一方向延伸的至少一个第一弹性元件和第二弹性元件，

所述第一弹性元件用于连接所述第一锚点和所述第一可动质量块，所述第二弹性元件用于连接所述第二锚点和所述第二可动质量块。

5.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一锚点和所述第二锚点沿所述第一方向平行设置。

6.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一锚点和所述第二锚点沿与所述第一方向垂直的第二方向平行设置。

7.根据权利要求5或6所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一弹性元件的长度方向与所述第一锚点的中线重合，所述第二弹性元件的长度方向与所述第二锚点的中线重合。

8.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件的两侧的质量不相等，所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件的两侧的质量不相等。

9.根据权利要求8所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件左侧的质量等于所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件左侧的质量，或者

所述第一可动质量块位于所述第一弹性元件右侧的质量等于所述第二可动质量块位于所述第二弹性元件右侧的质量。

10.根据权利要求8所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一可动质量块关于所述第一弹性元件非对称设置，所述第二可动质量块关于所述第二弹性元件非对称设置。

11.根据权利要求8-10任一项所述的惯性传感器，其特征在于，每个所述质量块的至少一侧设置有减重孔。

12.根据权利要求8-10任一项所述的惯性传感器，其特征在于，每个所述质量块的至少一侧设置有配重块。

13.根据权利要求11所述的惯性传感器，其特征在于，所述减重孔包括通孔和/或盲孔。

14.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述检测电极至少包括第一检测电极和第二检测电极，

所述第二可动质量块与所述第一检测电极和所述第二检测电极分别形成第一检测电容和第二检测电容，所述第一检测电容和所述第二检测电容构成差分电容结构。

15.根据权利要求14所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一检测电极和所述第二检测电极关于第一锚点和/或第二锚点的中线对称。

16.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括位于所述检测电极与所述第一可动质量块之间的绝缘层。

17.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一可动质量块和所述第二可动质量块的厚度分别为10～25微米。