[实用新型]一种通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置有效
| 申请号： | 201920439529.1 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN210065927U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 陈振宇;朱智顺;魏莉莎;曹娇娇 | 申请（专利权）人： | 武汉楚博士科技股份有限公司;华中科技大学 |
| 主分类号： | C23F11/00 | 分类号： | C23F11/00 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 许恒恒;李智 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缓蚀剂 空间电场 正负极 电极板 金属器件 载物台 施加 吸附 本实用新型 直流电压源 缓蚀效率 金属器件表面 缓蚀效果 金属防腐 有效解决 发现 研究 | ||
【权利要求书】：
1.一种通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置，其特征在于，包括载物台(2)、正负极电极板(3)和直流电压源(4)，其中，所述载物台(2)用于放置待处理的、吸附有缓蚀剂的金属器件，该载物台(2)位于所述正负极电极板(3)中的正极电极板与负极电极板之间，所述正负极电极板(3)分别与所述直流电压源(4)的正极和负极相连，该直流电压源(4)用于提供直流偏压，从而在所述正负极电极板(3)中的正极电极板与负极电极板之间形成空间电场，进而在吸附有缓蚀剂的情况下通过对金属器件施加空间电场作用以提高缓蚀剂的缓蚀效率；
此外，所述载物台(2)及放置在该载物台(2)内的金属器件，与所述正负极电极板(3)均保持电绝缘关系。
2.如权利要求1所述通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置，其特征在于，所述载物台(2)为绝缘载物台。
3.如权利要求1所述通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置，其特征在于，所述正负极电极板(3)被绝缘物封装以达到绝缘的目的。
4.如权利要求3所述通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置，其特征在于，所述正负极电极板(3)具体是被环氧树脂封装以达到绝缘的目的。
5.如权利要求1所述通过施加空间电场提高缓蚀剂缓蚀效率的装置，其特征在于，所述直流电压源(4)具体为恒压直流电压源。
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