[实用新型]背开透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车

权利要求书

1.一种背开透射式MEMS芯片，其特征在于：包括封装框架和驱动机构，所述封装框架的顶面上开设有透光通道，所述封装框架上连接有用于开启或关闭透光通道的微挡光片阵列，所述微挡光片阵列包括多个阵列式排布的微挡光片，所述驱动机构与所述微挡光片阵列连接，并用于驱动各个微挡光片弯曲；

各个微挡光片的两端分别为固定端和自由端，所述固定端固定在所述封装框架上，所述自由端在所述驱动机构驱动所述微挡光片弯曲后能形成弯曲端；

所述微挡光片阵列至少包括第一个微挡光片组和第二个微挡光片组，

其中，在所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组处于平直状态时，所述第一个微挡光片组中的微挡光片与所述第二个微挡光片组中的微挡光片具有上下交叠部分；

在所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组处于弯曲状态时，所述第一个微挡光片组的弯曲端和所述第二个微挡光片组弯曲端分别位于所述封装框架顶面的两侧。

2.根据权利要求1所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一个微挡光片组的固定端和所述第二个微挡光片组的固定端均位于所述透光通道的同一侧壁上，

其中，所述第一个微挡光片组中的微挡光片被设置为一行，所述第二个微挡光片组中的微挡光片被设置为一行，所述第一个微挡光片组设于第二个微挡光片组的上方，

所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组为交错分布，所述第一个微挡光片组中的相邻两个所述微挡光片之间留有第一间隔，所述第二个微挡光片组中的相邻两个所述微挡光片之间留有第二间隔，且所述第一个微挡光片组中的微挡光片与第二间隔相对应，所述第二个微挡光片组中的微挡光片与第一间隔相对应。

3.根据权利要求2所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：所述微挡光片阵列中，所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组构成一个微挡光片系列，且所述微挡光片阵列中至少包括两个微挡光片系列，所述两个微挡光片系列分别为第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列，

其中，所述第一个微挡光片系列的固定端和所述第二个微挡光片系列的固定端分别位于所述透光通道相对的两侧壁上；

所述第一个微挡光片系列的自由端为靠近所述第二个微挡光片系列设置，所述第二个微挡光片系列的自由端为靠近所述第一个微挡光片系列设置。

4.根据权利要求3所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一个微挡光片系列与所述第二个微挡光片系列为对称设置。

5.根据权利要求3所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一个微挡光片系列中的第一个微挡光片组与所述第二个微挡光片系列中的第二个微挡光片组成对齐设置；所述第二个微挡光片系列中的第二个微挡光片组与所述第一个微挡光片系列中的第一个微挡光片组成对齐设置。

6.根据权利要求5所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：在所述第一个微挡光片系列和所述第二个微挡光片系列处于平直状态时，所述第一个微挡光片系列中第一个微挡光片组的自由端与所述第二个微挡光片系列中第二个微挡光片组的自由端具有上下交叠部分；所述第二个微挡光片系列中第二个微挡光片组的自由端与所述第一个微挡光片系列中第一个微挡光片组的自由端具有上下交叠部分。

7.根据权利要求6所述的背开透射式MEMS芯片，其特征在于：在所述第一个微挡光片系列中，第一个微挡光片组中单个微挡光片的宽度小于第二个微挡光片组中单个微挡光片的宽度；

在所述第二个微挡光片系列中，第二个微挡光片组中单个微挡光片的宽度小于第一个微挡光片组中单个微挡光片的宽度。