[实用新型]玻璃基板的清洗装置有效
申请号: | 201920441348.2 | 申请日: | 2019-04-02 |
公开(公告)号: | CN209792056U | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 山本好睛;中塚弘树;奥隼人 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | B08B1/02 | 分类号: | B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B11/04;B08B11/02 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘影娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃基板 侧辊 清洗装置 清洗 方向相反 方向旋转 上表面 按压 驱动旋转 变形的 夹送辊 两端部 下表面 辊刷 挠曲 上游 配置 | ||
1.一种玻璃基板的清洗装置,其一边沿着输送方向输送玻璃基板一边对该玻璃基板进行清洗,其特征在于,
所述玻璃基板的清洗装置具备:
输送部,其具有多根输送辊,多根所述输送辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板;
上侧辊刷,其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转,用于清洗所述玻璃基板的上表面;
下侧辊刷,其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转,用于清洗所述玻璃基板的下表面;以及
两端保持部,其配置在所述上侧辊刷的输送方向的上游侧及下游侧,用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的清洗装置,其特征在于,
所述两端保持部是与所述输送辊一起夹着所述玻璃基板的夹送辊。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板的清洗装置,其特征在于,
所述夹送辊与所述输送部一体设置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的清洗装置,其特征在于,
所述玻璃基板的清洗装置还具备冲洗部,该冲洗部在所述上侧辊刷的下游侧所配置的所述两端保持部的下游侧,对所述玻璃基板喷射冲洗液。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板的清洗装置,其特征在于,
所述玻璃基板的清洗装置还具备盘清洗部,该盘清洗部在所述上侧辊刷的上游侧所配置的两端保持部的上游侧,使盘状的清洗构件与所述玻璃基板接触,通过驱动所述盘状的清洗构件旋转而清洗所述玻璃基板。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的清洗装置,其特征在于,
所述玻璃基板的清洗装置还具备辊刷清洗部,该辊刷清洗部在所述盘清洗部的上游侧利用辊刷清洗所述玻璃基板,
所述辊刷清洗部具有:
上侧辊刷,其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转,用于清洗所述玻璃基板的上表面;
下侧辊刷,其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转,用于清洗所述玻璃基板的下表面;以及
压辊,其在所述上侧辊刷及所述下侧辊刷的上游侧及下游侧夹持所述玻璃基板的两表面进行旋转。
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