[实用新型]多重蓝宝石单晶生长装置有效
申请号: | 201920443344.8 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN210314564U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 徐洙滢;崔钟健;朴南奎;许华平;刘少晗;裴悠松;李钟海;贝民贤 | 申请(专利权)人: | 贝民贤 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多重 蓝宝石 生长 装置 | ||
1.一种多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于,包括:
为保证加热后的内部温度上升至蓝宝石原料的高纯度氧化铝的熔融温度以上,从周围被保温体隔热的生长炉;
位于所述生长炉内部,且所述蓝宝石原料被熔融的同时从籽晶生长单晶的多只坩埚;
用于熔融所述蓝宝石原料而在所述坩埚外部安装的多重分体发热体;
为防止所述籽晶完全熔融而形成上下温度梯度,在所述坩埚的底部安装的冷却机构;
用于检测所述生长炉内部温度的温度传感器和用于根据所述温度传感器检测的温度对所述生长炉内温度进行调节的温度调节器;以及
与多重分体所述发热体一对一对应的电力控制装置,所述温度传感器和温度调节器分别与所述电力控制装置连接,所述电力控制装置用于控制所述温度传感器对生长炉内温度进行检测,并控制所述温度调节器对所述生长炉内温度进行调节,以保证所述生长炉内部精确温度控制和保持单一方向长形所述生长炉内部温度均匀。
2.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述温度传感器为高温计,其末端采用封堵形状的管子进行温度测定。
3.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述发热体的长度为5-50㎝。
4.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述发热体靠近所述保温体内侧壁布置,还具有各自向单一电极连接的多重侧部发热体及从所述侧部发热体上部进行连接的连接发热体。
5.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述生长炉的两端还安装有一对辅助发热体,以及为控制向所述辅助发热体供电而使用的电力控制装置。
6.根据权利要求5所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
还包括用于单独执行温度调节的温度控制系统。
7.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
为将从单一所述温度调节器输出的信息向与所述发热体一对一对应后提供电力的多重所述电力控制装置输入,还设置有以多重输出转换方式设计制作的信号分配器。
8.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
还包括伸入所述坩埚内用于测定原料被熔融的高度或被生长的单晶高度的测高装置。
9.根据权利要求1所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述坩埚的形状为四角形,由设置在所述坩埚外部的加固体支撑所述坩埚并在高温下抑制所述坩埚的变形。
10.根据权利要求9所述的多重蓝宝石单晶生长装置,其特征在于:
所述加固体设置为与所述坩埚一致的四角形。
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