[实用新型]一种MOCVD机台尾气回收装置

说明书

本实用新型属于半导体制造领域，尤其涉及一种MOCVD机台尾气回收装置，本实用新型在过滤器机组与换热器机组之间设置有一MO源回收装置，不仅可以对MO源回收利用，还能有效解决系统运行时出现的对换热器机组以及管道的堵塞问题，同时提高氨水回收系统的运行效率，减少MO源对环境的影响。

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，尤其涉及一种MOCVD机台尾气回收装置。

背景技术

现有的MOVCD机台内部反应腔内会有MO源与相应气体进行反应，其残留物及部分未完全反应的MO源通过抽排风机进入氨水回收系统处理，由于在抽排风机的后端安装了30um的过滤器，该过滤器只能对粒径大于30um的颗粒进行阻挡，而未完全反应的MO源的颗粒远远小于30um，因此过滤器对该物质几乎不起作用。如果进一步减小过滤器的孔径，将会造成过滤器的频繁堵塞，对车间设备带来极大地风险，因此采用安装更小孔径的过滤器不可取。

在部分MO源进入冷却板式换热器经过冷却后，在板式换热器内部薄片上以及出口管道内壁上沉积粘附了大量的白色结晶物，对板式换热器及出口管道形成堵塞，严重影响车间对尾气排放的负压要求；部分结晶物在气流的带动下进入氨气回收模组，并在膜丝表面形成结晶，直接影响了氨气分子通过膜丝与纯水的接触面积，从而降低了系统的回收效率；同时增加了该系统运行能耗和故障及设备日常的保养维修的工作量，对尾气的达标排放也形成了较大的环保压力。

发明内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种MOCVD机台尾气回收装置，包括抽排风机组、过滤器机组、换热器机组、氨水回收系统，所述抽排风机组一端连接于MOCVD反应室的尾气排出口，另一端连接于过滤器机组，所述过滤器机组、换热器机组和氨水回收系统之间通过管道联通，机台尾气经由抽排风机组、过滤器机组、换热器机组和氨水回收系统处理后排出，其特征在于：所述过滤器机组与所述换热器机组之间设置有一MO源回收装置，所述MO源回收装置包括下部箱体结构和上部盖板组件，上部盖板组件包括密封盖，设置于密封盖上部的尾气进入管和尾气排出管，设置于密封盖下部的间隔排列的滤网。

优选的，所述下部箱体包括外壳体、中间隔层和内胆层，中间隔离层和内胆层之间的内壁上设有若干个环形冷冻管。

优选的，所述环形冷冻管一端链接有冷却液分流管，另一端连接有冷却液汇流管。

优选的，所述外壳体和所述中间隔离层之间的夹层内设置有保温层。

优选的，所述尾气进入管设置有一氮气进入管，所述尾气排出管上设置有氮气排出管。

优选的，所述下部箱体与上部盖板组件接触处设置有密封圈。

优选的，所述尾气排出管还包括设置于下箱体内部的进气均流管。

优选的，所述进气均流管上均有设置有复数个通孔。

优选的，所述氮气排出管上设置有压力表和压力传感器。

优选的，所述冷却液分流管和冷却液汇流管分别连接于冷却液储罐。

本实用新型至少具备以下有益效果：

在过滤器机组与换热器机组之间设置有一MO源回收装置，不仅可以对MO源回收利用，还能有效解决系统运行时出现的对换热器机组以及管道的堵塞问题，同时提高氨水回收系统的运行效率，减少MO源对环境的影响。

附图说明

图1为本实用新型具体实施方式之MOCVD机台尾气回收装置结构示意图。

图2 为本实用新型具体实施方式之MO源回收装置结构示意图。

图3 为本实用新型具体实施方式之上部盖板组件结构示意图。

图4 为本实用新型具体实施方式之下部箱体结构示意图。