[实用新型]一种行星抛光装置

说明书

本实用新型涉及用于抛光的末端装置，针对现有行星抛光装置传动不平稳、结构复杂、运动惯量大等缺陷，提供一种行星抛光装置。该装置包括安装座、驱动电机、主动轴、从动轴和太阳轮组件；太阳轮组件包括太阳轮套、转盘、空心滑块、过渡连接件和抛光盘；太阳轮套是上下均为开口的凸字形连接套，其小端可旋转地设置在安装座下部，大端位于安装座外部；主动轴通过第一传动机构与从动轴相连；主动轴通过第二传动机构与太阳轮套相连；转盘轴心开设通孔，下部设有T字形槽；空心滑块上端设有卡槽；从动轴穿设在太阳轮套上，一端与转盘相连；太阳轮套大端固装太阳轮；过渡连接件上部可旋转地安装在空心滑块内；过渡连接件下部外圆周套装行星轮。

技术领域

本实用新型涉及一种用于抛光的末端装置，具体涉及一种行星抛光装置。

背景技术

由于非球面光学元件的优异性能，近年来，非球面光学元件在新一代光学系统中得到了广泛的应用。然而，由于非球面光学元件非一致曲率的特点，其所需的超精密加工技术一直制约着非球面的进一步发展及应用，如何大幅度的提高光学非球面的面形误差收敛速度是一项亟待解决的关键问题。

目前，计算机控制光学表面成形技术被广泛应用在非球面加工领域，该技术利用检测得到的定量面形误差数据，结合去除函数与预设的加工路径，按照一定的算法求得驻留时间，使得面形误差逐步的收敛，最终达到加工要求。

行星抛光技术是目前计算机控制光学表面成形技术中常用的一种抛光技术。但现有的行星抛光装置存在转动惯量大、抛光头结构复杂、动力传递不平稳等问题。

例如，中国专利(申请号：CN200810051132.1)公开了一种光学元件的行星主动抛光装置及方法，该装置采用平行四连杆机构实现平转动，行星电机通过软轴驱动抛光模自转。但由于软轴传动的固有属性，导致其动力传递不平稳；且平行四连杆机构刚性较弱。

再如，中国专利(申请号：CN201410554563.5)公开了一种大口径非球面机器人行星抛光装置，该装置的自转与公转采用两台伺服电机分别驱动，公转传动机构实现行星运动的平转动，自转传动机构采用二级带传动，使自转电机固定。但二级带传动使得结构复杂，且摆臂的摆动使得运动惯量较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有行星抛光装置传动不平稳、结构复杂、运动惯量大等不足，而提供一种行星抛光装置。该抛光装置如结合计算机控制技术，可以实现高效高精度光学元件的抛光，适用于大口径非球面元件的精密抛光。

为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案是：一种行星抛光装置，其特殊之处在于：包括安装座以及设置在安装座上的驱动电机、主动轴、从动轴和太阳轮组件；所述太阳轮组件包括太阳轮套、转盘、空心滑块、过渡连接件和抛光盘；太阳轮套是上下均为开口的凸字形连接套，其小端可旋转地设置在安装座的下部，大端位于安装座外部；驱动电机的输出轴与主动轴相连；主动轴通过第一传动机构与从动轴相连；主动轴通过第二传动机构与太阳轮套相连；转盘的轴心开设通孔，下部设有横向贯穿转盘的T字形槽；空心滑块的上端设有与所述T字形槽适配的卡槽，其上端卡入T字形槽内并可沿T字形槽移动；从动轴穿设在太阳轮套上，其一端经太阳轮套的小端伸入大端，并通过所述通孔与设置于太阳轮套大端内的转盘相连，带动转盘转动；太阳轮套大端的端头内壁固定安装设有内齿的太阳轮；过渡连接件的上部可旋转地安装在空心滑块内，抛光盘与过渡连接件相连；过渡连接件的下部伸出空心滑块，其外圆周固定套装与太阳轮相啮合的行星轮。

进一步地，上述通孔的横截面为多边形，可以是长方形、正方形或正六边形等形状；所述从动轴与转盘连接的一端形状与所述通孔的形状匹配；所述太阳轮套的大端内壁设置转盘轴承，转盘轴承的内圈套装在转盘的外表面；所述转盘轴承与太阳轮之间还设有用于压紧转盘轴承的压圈，压圈的外壁与太阳轮套的大端内壁紧密贴合。通过设置转盘轴承，进一步减小转盘旋转的晃动，使其运行更加平稳。

进一步地，上述过渡连接件与抛光盘铰接。通过球铰可以使抛光盘正压于镜面，保证被加工件抛光去除量的稳定。