[实用新型]一种自循环吹气吸附装置

说明书

本实用新型属于激光加工领域，具体涉及一种自循环吹气吸附装置，主要包括腔体部分与气路部分；腔体部分包括：吸附盘、位于吸附盘腔体内部的隔板，及位于隔板上的排气装置；气路部分包括第一连接管、第二连接管、第三连接管及电磁阀；第一连接管、第二连接管及第三连接管的一端均与电磁阀连接，第一连接管的另一端与排气口连接，第二连接管的另一端与外部气瓶连接，第三连接管的另一端指向加工部位。解决了采用吸附式装夹方法固定加工对象时，气体浪费严重的问题，将吸附产生的废气循环利用于激光加工过程中的辅助吹气，减少了气体的浪费，提高了利用效率，整套装置结构紧凑，简单易操作，适合工业应用。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种自循环吹气吸附装置。

背景技术

激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。激光加工不需要工具、加工速度快、表面变形小，可加工各种材料。用激光束对材料进行各种加工，如打孔、切割、划片、焊接、热处理等。某些具有亚稳态能级的物质，在外来光子的激发下会吸收光能，使处于高能级原子的数目大于低能级原子的数目——粒子数反转，若有一束光照射，光子的能量等于这两个能相对应的差，这时就会产生受激辐射，输出大量的光能。

在激光加工方面，最常用的夹具包括两类，一类是机械式夹具，另一类是吸附式夹具。机械式夹具是指采用机械挤压的方式固定加工对象，使之占有正确的位置，以接受施工或检测的装置。对于一般的机械零件，这种装夹方式的优点是可以迅速、方便、安全地安装工件。随着电子行业的飞速发展，超薄硬脆材料进入人们的视野，这种材料的厚度一般为0.01～0.5mm，硬度很高而且脆性很大，如果采用机械式装夹方法，容易受力过大对材料产生损伤，由于材料很薄，如果受力过小容易无法装夹到位，因此机械式装夹方法已经不适用于硬脆材料的装夹。吸附式装夹的原理是采用真空泵或者真空发生器在密闭空间内形成负压，在密闭空间的上部分有一些开孔，由于空间内是负压，上表面形成一定的吸附力，将样品放置在上表面即完成吸附夹具。这种夹紧方式操作简单，吸附紧凑，特别适合超薄硬脆材料的吸附。但这种方式一般采用抽真空将密闭空间的气体抽到空气中，气体浪费严重，同时一般加工还需再通入气体作为辅助气体加工样品，造成极大浪费，整体结构十分不合理。

实用新型内容

为了解决采用吸附式装夹方法固定加工对象时，气体浪费严重的问题，本实用新型提供一种能够提高整体气体利用率的一种吹气吸附装置，这种装置可以减少整个吸附过程中的气体浪费，同时将排出的气体循环再利用，实现自循环。

为了实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是提供了一种自循环吹气吸附装置，其特殊之处在于：包括腔体部分与气路部分；腔体部分是装置的主体部分，用于产生负压，将工件夹紧固定；气路部分是支撑部分，用于吸附气体和吹气气体之间的循环以及气瓶气体的补充，形成自循环气路。

上述腔体部分包括：

吸附盘，所述吸附盘为顶部具有若干通孔的腔体，所述腔体的下部设有排气口；隔板，所述隔板位于腔体内部，将腔体分为上腔体与下腔体两部分；排气装置，所述排气装置位于隔板上，使腔体内产生负压，并通过排气口将气体排出；所述气路部分包括第一连接管、第二连接管、第三连接管及电磁阀；所述第一连接管、第二连接管及第三连接管的一端均与电磁阀连接，第一连接管的另一端与排气口连接，第二连接管的另一端与外部气瓶连接，第三连接管的另一端指向加工部位。

进一步地，所述排气装置包括排气扇与电机，所述电机与排气扇连接，控制排气扇转动。

进一步地，所述气路部分还包括连接在第三连接管另一端的气嘴，所述气嘴指向加工部位的角度可调。

进一步地，气嘴的材料为金属材质。

进一步地，第一连接管、第二连接管、第三连接管均为软连接管，承受压力范围为0.1～10Mpa；电磁阀为气动电磁阀门，可调节通过气压范围为：0～30MPa；所述电机为直线电机或步进电机。