[实用新型]一种355nm紫外远心f-theta镜头

权利要求书

1.一种355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。

2.如权利要求1所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：沿入射光线传输方向，第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面，第一像侧面为使用扩展多项式表征的自由曲面，所使用的扩展多项式公式为：

其中，j＝[(m+n)²+m+3n]/2+1，z为自由曲面矢高，x和y为各面局部坐标，c为顶点曲率，k为圆锥系数，Cj为x^myⁿ多项式系数，r为距离光轴镜面口径，m取值范围0～10，n取值范围0～10，归一化系数为1。

3.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：-0.8<f1/f0<-0.4；2.0<f2/f0<2.5；1.0<f3/f0<2.0；2.0<f4/f0<3.0；2.0<f5/f0<2.5，其中，f1为第一透镜焦距，f2为第二透镜焦距，f3为第三透镜焦距，f4为第四透镜焦距，f5为第五透镜焦距，f0为系统总焦距。

4.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一透镜的中心厚度为10±0.2mm，第二透镜的中心厚度为15±0.2mm，第三透镜的中心厚度为24±0.2mm，第四透镜的中心厚度为20±0.2mm，第五透镜的中心厚度为20±0.2mm，第六透镜的中心厚度为3±0.2mm。

5.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一透镜的外径为50-68mm，第二透镜的外径为72-85mm，第三透镜的外径为100-108mm，第四透镜的外径为120-125mm，第五透镜的外径为135mm，第六透镜的外径为135mm。

6.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：沿入射光线传输方向，第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面，第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面，第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面，第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面，第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面，第六透镜的两面依次为第六物侧面和第六像侧面；第一物侧面为球面，第一像侧面为自由曲面；第二物侧面为球面，第二像侧面为球面；第三物侧面为球面，第三像侧面为球面；第四物侧面为球面，第四像侧面为球面；第五物侧面为球面，第五像侧面为球面；第六物侧面为平面，第六像侧面为平面。

7.如权利要求6所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一物侧面的曲率半径为-41.729±2mm，第一像侧面的曲率半径为776.55±2mm；第二物侧面的曲率半径为-168.30±2mm，第二像侧面的曲率半径为-86.40±2mm；第三物侧面的曲率半径为无穷大，第三像侧面的曲率半径为-98.55±2mm；第四物侧面的曲率半径为-363.33±2mm，第四像侧面的曲率半径为-142.14±2mm；第五物侧面的曲率半径为682.42±2mm，第五像侧面的曲率半径为-217.33±2mm。

8.如权利要求6所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一像侧面中心到第二物侧面中心的距离为6.3±0.02mm，第二像侧面中心到第三物侧面中心的距离为2.45±0.02mm，第三像侧面中心到第四物侧面中心的距离为7.40±0.02mm，第四像侧面中心到第五物侧面中心的距离为7.50±0.02mm，第五像侧面中心到第六物侧面中心的距离为6±0.02mm。