[实用新型]一种“纹影法”焦斑动态范围的标定装置有效
| 申请号： | 201920450431.6 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209878133U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李红光;段亚轩;袁索超;陈永权;王璞;李铭;达争尚;董晓娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01M11/02 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光斑 衍射 焦斑 激光光源 诊断系统 标定 光栅 标定装置 测量光路 峰值能量 正弦相位 准直物镜 纹影 远场 本实用新型 高功率激光 出射光路 分光模块 激光扩束 依次设置 旁瓣 主瓣 调制 输出 | ||
【权利要求书】：
1.一种“纹影法”焦斑动态范围的标定装置，其特征在于：包括激光光源(11)及沿激光光源(11)出射光路依次设置的准直物镜(12)与一维正弦相位光栅(13)；
所述准直物镜(12)将激光光源(11)输出的激光扩束为直径为的光斑；所述一维正弦相位光栅(13)对直径为的光斑进行调制后产生一系列不同衍射级次的光斑；
在一系列不同衍射级次的光斑中，至少能够找到一个衍射级次的光斑，其峰值能量与0衍射级次光斑峰值能量的比值小于等于1:104。
2.根据权利要求1所述的“纹影法”焦斑动态范围的标定装置，其特征在于：激光光源(11)为光纤激光器或者能够耦合到准直物镜焦点的自由输出激光器。
3.根据权利要求2所述的“纹影法”焦斑动态范围的标定装置，其特征在于：激光光源(11)出射的平面波与被标定系统波长相同。
4.根据权利要求2所述的“纹影法”焦斑动态范围的标定装置，其特征在于：一维正弦相位光栅(13)的输出用于与“纹影法”焦斑诊断系统输入耦合。
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