[实用新型]一种多线切割机槽轮

说明书

本实用新型提供了一种多线切割机槽轮，其中，包括槽轮本体及设置在槽轮本体外表面的环槽部，在环槽部的轮面上设置有环槽；在槽轮本体内贯穿设置有与电机连接的转轴；所述槽轮本体呈圆柱状，在所述槽轮本体的内表面处加工有环状凹槽，所述环状凹槽的数量为至少一个。本实用新型的槽轮采用中空结构，不仅节约材料，而且降低了重量，进而运动惯量监销，运行平稳，在长时间运行后，不易变形。

技术领域

本实用新型涉及多线切割机领域，具体地说是一种多线切割机槽轮。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行切割，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。近年来多线切割技术逐步取代了传统的内圆切割技术和单线切割技术，在硅、蓝宝石、碳化硅、磁性材料等材料加工技术领域有着非常重要的应用，极大的提高了产业化的效率。现有摆动切割部位由三个槽轮呈倒品字型安装在摆动切割头上，一个主轴伺服电机按位置控制方式通过同步带带动三个槽轮高速同步转动。由于切割线受力，长时间使用后，槽轮因旋转惯量等影响，易产生形变，导致切割不精确。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多线切割机槽轮，以解决现有的槽轮易形变的问题。

本实用新型是这样实现的：一种多线切割机槽轮，其中，包括槽轮本体及设置在槽轮本体外表面的环槽部，在环槽部的轮面上设置有环槽；在槽轮本体内贯穿设置有与电机连接的转轴；

所述槽轮本体呈圆柱状，在所述槽轮本体的内表面处加工有环状凹槽，所述环状凹槽的数量为至少一个。

优选的，在所述环槽的外表面上设置有耐磨涂层。

优选的，在所述槽轮本体的外表面上均布设置有与其轴线平行的凸楞或凹槽。

优选的，所述槽轮本体的两端设置有锥形孔，所述槽轮本体的两端通过锥形套与所述转轴连接。

采用上述技术方案，本实用新型的槽轮采用中空结构，不仅节约材料，而且降低了重量，进而运动惯量监销，运行平稳，在长时间运行后，不易变形。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的左视示意图。

图中：1—槽轮本体，2—环槽部，3—环槽，4—转轴，5—环状凹槽，6—凸楞。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供了一种多线切割机槽轮，包括槽轮本体1及设置在槽轮本体1外表面的环槽部2，在环槽部2的轮面上设置有环槽3；在槽轮本体内贯穿设置有与电机连接的转轴4。电机带动转轴、槽轮转动，切割线设置在环槽内。

本实用新型的槽轮本体1呈圆柱状，在槽轮本体1的内表面处加工有环状凹槽5，环状凹槽5的数量为至少一个。环状凹槽的设置，减轻了槽轮的重量，将槽轮变成了中空的结构，节省了制造材料。由于槽轮重量的降低，在转动过程中，运动惯量也相应减小，运行平稳，不易变形或移位，保证了切割线的位置准确，提高了切割精度。